[實用新型]自動對位機構

無效

• 申請號: 201020667207.1
• 申請日: 2010-12-20
• 公開（公告）號: CN201962202U
• 公開（公告）日: 2011-09-07
• 發明（設計）人: 楊明生;王曼媛;范繼良;劉惠森;王勇
• 申請（專利權）人: 東莞宏威數碼機械有限公司
• 主分類號: C03C17/28
• 分類號: C03C17/28
• 代理公司: 廣州三環專利代理有限公司 44202
• 代理人: 張艷美;郝傳鑫

1.一種自動對位機構，用于實現掩膜板與基板的精確對位，包括真空腔體、夾持板、開爪裝置，基板傳輸裝置、基板升降裝置、掩膜板傳輸裝置及掩膜板升降裝置，所述真空腔體前后兩端開設有進口和出口，所述進口及出口處設置有密封的閘閥，所述基板承載并夾持于所述夾持板上并由腔外傳輸裝置穿過進口傳輸進所述真空腔體內，所述基板傳輸裝置帶動所述夾持板沿水平方向在所述真空腔體內傳輸，所述基板升降裝置驅動所述基板傳輸裝置升降，從而帶動所述夾持板在所述真空腔體內做升降運動，所述掩膜板傳輸裝置帶動傳輸進真空腔體內的掩膜板在真空腔體內沿水平方向移動，所述掩膜板升降裝置帶動所述掩膜板在所述真空腔體內做升降運動，所述夾持板上設有用于夾緊掩膜板的夾子，所述開爪裝置密封地伸入所述真空腔體內并用于打開和鎖緊所述夾持板上的夾子，其特征在于，還包括固定板、基板對位裝置、控制器及檢測裝置，所述固定板固定在所述真空腔體內的上方并位于開爪裝置與基板升降裝置之間，所述基板對位裝置對真空腔體內的基板進行水平方向上的位置調整對位，所述檢測裝置對真空腔體內的掩膜板與夾持板的位置進行實時檢測，所述基板對位裝置、基板傳輸裝置、基板升降裝置、掩膜板升降裝置、掩膜板傳輸裝置、開爪裝置及所述檢測裝置分別與所述控制器電連接。

2.如權利要求1所述的自動對位機構，其特征在于，所述基板對位裝置包括第一對位裝置與第二對位裝置，所述第一對位裝置包括第一對位驅動裝置、第一對位頭及第一對位架，所述第二對位裝置包括第二對位驅動裝置、第二對位頭及第二對位架，所述第一對位驅動裝置具有第一推動桿，所述第一推動桿密封地穿過所述真空腔體，所述第一對位頭固定在所述第一推動桿位于真空腔體內的自由端，所述第一對位架與所述第一對位頭相對并固定在所述固定架上，所述第二對位驅動裝置具有第二推動桿，所述第二推動桿密封地穿過所述真空腔體，所述第二對位頭固定在所述第二推動桿位于真空腔體內的自由端，所述第二對位架與所述第二對位頭相對并固定在所述固定架上，所述第一對位頭、第二對位頭、第一對位架及第二對位架均位于同一水平面，所述第一對位頭與所述第二對位頭相互垂直設置，所述第一對位驅動裝置通過第一推動桿控制所述第一對位頭向所述第一對位架方向水平移動，所述第二對位驅動裝置通過第二推動桿控制所述第二對位頭向所述第二對位架方向水平移動。

3.如權利要求1所述的自動對位機構，其特征在于，所述基板傳輸裝置包括基板傳輸軌道、基板傳輸電機及齒輪，所述基板傳輸軌道設于真空腔體內并與所述進口、出口對接，所述夾持板承載于所述基板傳輸軌道上，所述夾持板與所述基板傳輸軌道相接觸的部位安裝有滾輪，所述夾持板的側壁上具有齒條，所述基板傳輸電機安裝在所述真空腔體外，所述齒輪安裝在所述基板傳輸軌道一側并與所述齒條嚙合，所述基板傳輸電機的輸出軸與所述齒輪相連并帶動所述齒輪轉動，從而帶動所述夾持板在所述基板傳輸軌道上水平移動。

4.如權利要求1所述的自動對位機構，其特征在于，所述掩膜板傳輸裝置包括輸送部和驅動部，所述輸送部包括若干導軌和軸套，所述導軌兩兩相對且并行排列在所述真空腔體內，所述軸套呈臺階狀并安裝在所述導軌內端，所述驅動部包括蝸桿和蝸輪，所述蝸桿與所述蝸輪相配合并帶動所述蝸輪轉動，所述蝸輪固定在所述導軌的外端并帶動所述導軌轉動，所述軸套承載所述掩膜板并帶動所述掩膜板水平移動。

5.如權利要求1所述的自動對位機構，其特征在于，所述基板升降裝置包括基板升降電機、基板升降桿和升降板，所述基板升降電機與所述基板升降桿相連并控制所述升降桿動作，所述升降桿密封地穿過所述真空腔體與所述升降板相連并帶動所述升降板做升降運動，所述升降板位于所述基板下方并通過帶動基板傳輸裝置升降從而帶動所述基板做升降運動。

6.如權利要求1所述的自動對位機構，其特征在于，所述掩膜板升降裝置包括掩膜板升降電機、掩膜板升降桿和托板，所述掩膜板升降電機與所述掩膜板升降桿相連并控制所述掩膜板升降桿動作，所述掩膜板升降桿密封地穿過所述真空腔體與所述托板相連并帶動所述托板做升降運動，所述托板位于所述掩膜板下方并帶動所述掩膜板做升降運動。