[實用新型]用于高溫爐的排氣管道和高溫爐有效
| 申請號： | 201020664208.0 | 申請日： | 2010-12-16 |
| 公開（公告）號： | CN201915142U | 公開（公告）日： | 2011-08-03 |
| 發明（設計）人： | 楊志平 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司 |
| 主分類號： | C23C16/455 | 分類號： | C23C16/455 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李時云 |
| 地址： | 201203 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 高溫 排氣 管道 | ||
1.一種用于高溫爐的排氣管道，所述高溫爐包括一高溫腔室，其特征在于，所述排氣管道包括第一管道和第二管道，所述第一管道與高溫腔室連通，所述第二管道與第一管道連通，所述第二管道的內徑大于第一管道的內徑。
2.如權利要求1所述的用于高溫爐的排氣管道，其特征在于，所述第二管道的最大內徑為15cm～30cm，所述第一管道的內徑為10cm～15cm。
3.如權利要求1所述的用于高溫爐的排氣管道，其特征在于，所述第二管道的形狀為漏斗狀。
4.如權利要求1所述的用于高溫爐的排氣管道，其特征在于，所述排氣管道還包括與第二管道連通的第三管道，所述第三管道的內徑與第一管道相同。
5.一種高溫爐，包括高溫腔室和排氣管道，其特征在于，所述排氣管道包括第一管道和第二管道，所述第一管道與高溫腔室連通，所述第二管道與第一管道連通，所述第二管道的內徑大于第一管道的內徑。
6.如權利要求5所述的高溫爐，其特征在于，所述第二管道的最大內徑為15cm～30cm，所述第一管道的內徑為10cm～15cm。
7.如權利要求5所述的高溫爐，其特征在于，所述第二管道的形狀為漏斗形。
8.如權利要求5所述的高溫爐，其特征在于，所述第二管道的長度為30cm～50cm，所述第一管道的長度為80cm～120cm。
9.如權利要求5所述的高溫爐，其特征在于，所述排氣管道還包括與第二管道連通的第三管道，所述第三管道的內徑與第一管道相同。
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C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆，例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
