[實用新型]一種制膜裝置無效
| 申請號： | 201020628693.6 | 申請日： | 2010-11-26 |
| 公開（公告）號： | CN201890923U | 公開（公告）日： | 2011-07-06 |
| 發明（設計）人： | 黃瑞安 | 申請（專利權）人： | 黃瑞安 |
| 主分類號： | C23C14/38 | 分類號： | C23C14/38 |
| 代理公司： | 廣州市越秀區哲力專利商標事務所(普通合伙) 44288 | 代理人： | 廖平 |
| 地址： | 515735 廣東省潮州*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種制膜裝置，包括真空室、與真空室底部相連的抽氣組件、安裝在真空室內的加熱器，所述加熱器連接一置于真空室外的控制電源，其特征在于：還包括一對陽極電弧和陰極電弧，連接陽極電弧和陰極電弧的控制電源，以及電弧觸發電極和控制電弧觸發電極的控制電源，所述陰極電弧置于一冷卻底座上。
2.如權利要求1所述的一種制膜裝置，其特征在于：所述加熱器下端設有一對掛鉤。
3.如權利要求1所述的一種制膜裝置，其特征在于：真空室內還設有一測溫儀，所述測溫儀一端與陰極電弧連接，一端與置于真空室外的溫度顯示屏連接。
4.如權利要求1或3所述的一種制膜裝置，其特征在于：所述陰極電弧是用銅制成的空心圓柱形。
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