[實用新型]具有隔熱件的蒸鍍源載具

無效

• 申請號: 201020628180.5
• 申請日: 2010-11-25
• 公開（公告）號: CN201890920U
• 公開（公告）日: 2011-07-06
• 發明（設計）人: 陳宜杰;白英宏;羅世欣
• 申請（專利權）人: 聚昌科技股份有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24
• 代理公司: 北京中原華和知識產權代理有限責任公司 11019
• 代理人: 壽寧;張華輝

技術領域

本實用新型涉及一種蒸鍍源載具，特別是涉及一種可維持蒸鍍材溫度的具有隔熱件的蒸鍍源載具。

背景技術

真空蒸鍍是將被鍍物置于真空環境下，并透過加熱蒸鍍材使其氣化或升華，進而使氣態的蒸鍍材可沉積于被鍍物表面，而達到于被鍍物表面形成薄膜的目的。其中，蒸鍍材本身的溫度是決定蒸鍍材氣化速率的關鍵，并且也是影響蒸鍍速率的重要參數之一。也就是當蒸鍍材本身的溫度越高，蒸鍍材的氣化速率也會相對提升，并加速整體的蒸鍍速率。然而，蒸鍍材溫度過高卻可能導致蒸鍍速率過快，而使薄膜沉積的厚度不均。反之，蒸鍍材溫度過低，也可能使蒸鍍速率過慢以致于蒸鍍效果不佳。

再者，真空蒸鍍技術中的電子式蒸鍍是利用電子束中的高能電子撞擊蒸鍍材，使蒸鍍材氣化分解進而擴散至被鍍物表面。并且，為了能夠進一步調控蒸鍍速率，因此可再額外控制蒸鍍材本身的溫度，以調整蒸鍍材的氣化速率。

圖1是現有習知技術中真空蒸鍍裝置100結構的示意圖。

如圖1所示，現有習知技術的真空蒸鍍裝置100包括可提供真空環境的一真空腔11，在真空腔11內部擺設有用以放置被鍍物12的鍍盤13以及用以擺放蒸鍍材14的坩鍋15。坩鍋15四周又設置有多個發射源16，可用以發射電子束以加熱蒸鍍材14使之氣化。

在現有習知技術中，為了將電子束撞擊蒸鍍材14后的高能電荷順利導出，而不會累積于坩鍋15上，因此多半選擇導電性佳的材質制作坩鍋15。此外，在蒸鍍過程中需要維持環境溫度達到一定的溫度，以維持蒸鍍效率，因此大多選擇使用導電佳且耐高溫特性的金屬材質的坩鍋15。

由于金屬同樣具有熱傳性質良好的特點，反而更容易使得坩鍋15中的蒸鍍材14本身的溫度也經由坩鍋15而散失，而不易維持蒸鍍材14的溫度。因此，只有透過不斷地加熱蒸鍍材14，或是以更高能的電子束撞擊蒸鍍材14，才得以使蒸鍍材14處于最佳的蒸鍍溫度。

然而，在不斷加熱蒸鍍材14的方式保持蒸鍍材14的溫度的過程中，因為蒸鍍材14直接與坩鍋15直接接觸的緣故，蒸鍍材14的溫度也會不斷地傳遞至坩鍋15，造成坩鍋15的溫度上升甚至過熱，因此需再于坩鍋15四周設置冷卻水路結構17以控制坩鍋15溫度，以避免因坩鍋15溫度過高而破壞了蒸鍍材14。

因此，如何在蒸鍍過程中維持蒸鍍材14的蒸鍍溫度，并避免因蒸鍍材14的熱能傳遞至坩鍋15而使得坩鍋15溫度過高，實在是目前急需解決的問題之一。

由此可見，上述現有的真空蒸鍍裝置在結構與使用上，顯然仍存在有不便與缺陷，而亟待加以進一步改進。為了解決上述存在的問題，相關廠商莫不費盡心思來謀求解決之道，但長久以來一直未見適用的設計被發展完成，而一般產品又沒有適切結構能夠解決上述問題，此顯然是相關業者急欲解決的問題。因此如何能創設一種新型結構的具有隔熱件的蒸鍍源載具，實屬當前重要研發課題之一，亦成為當前業界極需改進的目標。

發明內容

本實用新型的主要目的在于，克服現有的真空蒸鍍裝置存在的缺陷，而提供一種新型結構的具有隔熱件的蒸鍍源載具，所要解決的技術問題是使其借由隔熱件以有效阻隔蒸鍍材的熱能散失，并在蒸鍍過程中維持蒸鍍材的溫度，進而穩定蒸鍍材的氣化速率，達到提高蒸鍍效率的功效，非常適于實用。

本實用新型的目的及解決其技術問題是采用以下的技術方案來實現的。依據本實用新型提出的一種具有隔熱件的蒸鍍源載具，其包括：一載具，其具有界定內部空間體積的側邊及底邊；以及一隔熱件，其設置于該載具內并設于該底邊上。

本實用新型的目的以及解決其技術問題還可以采用以下的技術措施來進一步實現。

前述的具有隔熱件的蒸鍍源載具，其進一步具有一隔熱導電材設置于該載具的外側，且相對于該底邊的位置。

前述的具有隔熱件的蒸鍍源載具，其中該隔熱導電材的材質為鉬、鎢、石墨、紅銅或不銹鋼。

前述的具有隔熱件的蒸鍍源載具，其中該隔熱件的材質為鉬、鎢、陶瓷、石墨、紅銅或不銹鋼。

前述的具有隔熱件的蒸鍍源載具，其中該隔熱件是為一塊材或一墊片。

前述的具有隔熱件的蒸鍍源載具，其中該載具的材質為導電材質。

前述的具有隔熱件的蒸鍍源載具，其中該導電材質為鉬、鎢、石墨、紅銅或不銹鋼。

前述的具有隔熱件的蒸鍍源載具，其進一步具有一坩鍋，其用以容置該載具、該隔熱件以及該隔熱導電材。

前述的具有隔熱件的蒸鍍源載具，其中該坩鍋進一步設置有一控溫裝置以調控該坩鍋的溫度。

前述的具有隔熱件的蒸鍍源載具，其中該坩鍋的材質為紅銅。