[實用新型]具有隔熱件的蒸鍍源載具無效
| 申請號: | 201020628180.5 | 申請日: | 2010-11-25 |
| 公開(公告)號: | CN201890920U | 公開(公告)日: | 2011-07-06 |
| 發明(設計)人: | 陳宜杰;白英宏;羅世欣 | 申請(專利權)人: | 聚昌科技股份有限公司 |
| 主分類號: | C23C14/24 | 分類號: | C23C14/24 |
| 代理公司: | 北京中原華和知識產權代理有限責任公司 11019 | 代理人: | 壽寧;張華輝 |
| 地址: | 中國臺灣新竹縣*** | 國省代碼: | 中國臺灣;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 具有 隔熱 蒸鍍源載具 | ||
1.一種具有隔熱件的蒸鍍源載具,其特征在于,其包括:
一載具,其具有界定內部空間體積的側邊及底邊;以及
一隔熱件,其設置于該載具內并設于該底邊上。
2.根據權利要求1所述的具有隔熱件的蒸鍍源載具,其特征在于,其進一步具有一隔熱導電材設置于該載具的外側,且相對于該底邊的位置。
3.根據權利要求2所述的具有隔熱件的蒸鍍源載具,其特征在于,其中該隔熱導電材的材質為鉬、鎢、石墨、紅銅或不銹鋼。
4.根據權利要求1至3中任一項所述的具有隔熱件的蒸鍍源載具,其特征在于,其中該隔熱件的材質為鉬、鎢、陶瓷、石墨、紅銅或不銹鋼。
5.根據權利要求4所述的具有隔熱件蒸鍍源載具,其特征在于,其中該隔熱件是為一塊材或一墊片。
6.根據權利要求5所述的具有隔熱件的蒸鍍源載具,其特征在于,其中該載具的材質為導電材質。
7.根據權利要求6所述的具有隔熱件的蒸鍍源載具,其特征在于,其中該導電材質為鉬、鎢、石墨、紅銅或不銹鋼。
8.根據權利要求7所述的具有隔熱件的蒸鍍源載具,其特征在于,其進一步具有一坩鍋,其用以容置該載具、該隔熱件以及該隔熱導電材。
9.根據權利要求8所述的具有隔熱件的蒸鍍源載具,其特征在于,其中該坩鍋進一步設置有一控溫裝置以調控該坩鍋的溫度。
10.根據權利要求9所述的具有隔熱件的蒸鍍源載具,其特征在于,其中該坩鍋的材質為紅銅。
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