[實(shí)用新型]高溫?cái)U(kuò)散舟

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201020612510.1
• 申請(qǐng)日: 2010-11-18
• 公開（公告）號(hào): CN201898121U
• 公開（公告）日: 2011-07-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李秉永;呂明;郭城;魏繼昊
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 山東科芯電子有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/673
• 分類號(hào): H01L21/673;H01L21/67
• 代理公司: 濟(jì)南舜源專利事務(wù)所有限公司 37205
• 代理人: 張建成

技術(shù)領(lǐng)域：

本實(shí)用新型涉及的是一種高溫?cái)U(kuò)散舟，尤其是一種在半導(dǎo)體生產(chǎn)中用于承載硅片的擴(kuò)散舟。

背景技術(shù)：

半導(dǎo)體產(chǎn)品都需經(jīng)過高溫?cái)U(kuò)散的工序，按照需要改變產(chǎn)品的電阻率，而在高溫?cái)U(kuò)散過程必須有高度純凈、耐高溫、軟化點(diǎn)高且外形合適的載具，擴(kuò)散舟作為在高溫?cái)U(kuò)散時(shí)裝載硅片的工具是必不可少的。目前已有的高溫?cái)U(kuò)散載具多數(shù)為石英玻璃材質(zhì)，且以刻槽舟載具為主，主要是在石英基板上進(jìn)行刻槽。其缺點(diǎn)如下：其一，現(xiàn)有載具多為石英材料，軟化點(diǎn)低于碳化硅材料，長時(shí)間高溫下易變形，對(duì)產(chǎn)品造成損傷；其二，現(xiàn)有載具的刻槽舟類產(chǎn)品由于刻槽間距的原因，產(chǎn)品承載數(shù)量少，單位成本較高；其三，現(xiàn)有擴(kuò)散舟承載的圓片多是立式放置，若側(cè)面防護(hù)不佳容易造成圓片從舟內(nèi)滾出到擴(kuò)散爐管內(nèi)；其四，現(xiàn)有載舟都是一次燒制成型，在運(yùn)輸、清洗等過程中不方便。這是現(xiàn)有技術(shù)所存在的不足之處。

發(fā)明內(nèi)容：

本實(shí)用新型的目的，就是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)所存在的不足，而提供一種新型、簡(jiǎn)單實(shí)用的高溫?cái)U(kuò)散舟。

本方案是通過如下技術(shù)措施來實(shí)現(xiàn)的：高溫?cái)U(kuò)散舟，包括有矩形底板、立柱組成，其特征在于：在所述矩形底板上設(shè)置兩排所述立柱，并在所述矩形底板的一端設(shè)置拉孔。設(shè)置拉孔的目的就是方便高溫?cái)U(kuò)散舟整體移動(dòng)。

為了能使圓片水平疊放、穩(wěn)固，本實(shí)用新型采用的是上述兩排立柱是對(duì)稱排列的。并且立柱在每一排上是有規(guī)律且不等距離排列的。上述4個(gè)相鄰的立柱組成一組。把園片水平疊放在其中，上述立柱是等高的。所以放置的圓片不容易滑出。為了清洗運(yùn)出方便，上述立柱與矩形底板是可拆卸的。

本方案的有益效果可根據(jù)對(duì)上述方案的敘述得知，由于在該方案中擴(kuò)散舟材質(zhì)為耐高溫的碳化硅材料，圓片水平疊放，可以一次放置較多的圓片，解決了圓片滾動(dòng)滑出載具的現(xiàn)象。而且本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本低于普通載具，且立柱與底板可以分離，易于運(yùn)輸，不含刻槽，便于清洗維護(hù)。對(duì)于圓片數(shù)量本載具無限制，其他擴(kuò)散舟在數(shù)量少而不滿舟時(shí)需加填充片或其他填充物。本擴(kuò)散舟除底部一片與載具接觸面較大外，其它圓片與載具接觸面極小，擴(kuò)散過程中不易與擴(kuò)散載具發(fā)生粘連，易于在擴(kuò)散結(jié)束后將圓片從載具上移出。由此可見，本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有實(shí)質(zhì)性特點(diǎn)和進(jìn)步，其實(shí)施的有益效果也是顯而易見的。

附圖說明：

圖1為主視圖。

圖2為圖1的A-A剖視圖。

圖中，1為矩形底板，2為拉孔，3為立柱，4為圓片。

具體實(shí)施方式：

為能清楚說明本方案的技術(shù)特點(diǎn)，下面通過一個(gè)具體實(shí)施方式，并結(jié)合其附圖，對(duì)本方案進(jìn)行闡述。

通過附圖可以看出，本方案提供了一種高溫?cái)U(kuò)散舟，載具材質(zhì)為耐高溫的碳化硅材料。包括有矩形底板1、立柱3組成，其特征在于：在所述矩形底板1上設(shè)置兩排所述立柱3，并在所述矩形底板1的一端設(shè)置拉孔2。

上述兩排立柱3是對(duì)稱排列的。上述立柱3在每一排上是有規(guī)律且不等距離排列的。4個(gè)相鄰的上述立柱3組成一組，圓片4放入其中，共兩組。上述立柱3是等高的，高度為7cm。上述立柱3與矩形底板1是可拆卸的。有利于運(yùn)輸及清洗。

工作原理：圓片平置疊放于相鄰的四根立柱之間，且保留少許空隙，避免高溫過程中圓片與擴(kuò)散舟燒結(jié)粘連。孔間間距及柱體高度隨圓片直徑及擴(kuò)散爐管直徑進(jìn)行調(diào)整，擴(kuò)散舟可以根據(jù)需要延長或縮短。例如：立柱高度為7cm，每組可以放入圓片100片，兩組可以放入圓片200片。進(jìn)出料時(shí)拉桿頭部勾住拉孔，帶動(dòng)擴(kuò)散舟整體移動(dòng)。