[實(shí)用新型]光刻機(jī)的操作臺(tái)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201020596726.3
• 申請(qǐng)日: 2010-11-08
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN201926866U
• 公開(kāi)（公告）日: 2011-08-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 葉焱磊;霍志軍;陳建民
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G03F7/20
• 分類(lèi)號(hào): G03F7/20
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時(shí)云

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及光刻領(lǐng)域，尤其涉及光刻機(jī)的操作臺(tái)。

背景技術(shù)

目前，在光刻機(jī)制造領(lǐng)域，操作臺(tái)的機(jī)械設(shè)計(jì)存在以下兩種方式：分離式設(shè)計(jì)和一體式設(shè)計(jì)。

如圖1所示，分離式設(shè)計(jì)將操作臺(tái)與光刻機(jī)整機(jī)脫離，并將操作臺(tái)獨(dú)立。圖1所示的光刻機(jī)包括顯示屏a；按鈕界面b；UPS?c；鼠標(biāo)、鍵盤(pán)d；工作站。而操作臺(tái)包括顯示屏f；按鈕界面g；鼠標(biāo)、鍵盤(pán)h；UPS?i；工作站j。該方式的優(yōu)點(diǎn)在于操作臺(tái)移動(dòng)靈活，設(shè)計(jì)獨(dú)立，與整機(jī)的耦合因素較少。操作臺(tái)通過(guò)線纜與整機(jī)連接。該方式的缺點(diǎn)在于操作臺(tái)的集成度不高，需要獨(dú)立的空間來(lái)放置，導(dǎo)致整個(gè)光刻機(jī)對(duì)空間的要求變大。

一體式設(shè)計(jì)將操作臺(tái)與光刻機(jī)結(jié)合在一起，操作臺(tái)作為整機(jī)面板的一部分。該方式的優(yōu)點(diǎn)在于操作臺(tái)集成度提高，不需要額外的放置空間，降低了光刻機(jī)對(duì)空間的要求。其缺點(diǎn)在于裝拆、維護(hù)、接線不夠方便，在進(jìn)行操作臺(tái)維護(hù)時(shí)影響整個(gè)光刻機(jī)的運(yùn)行。

用于整機(jī)的維護(hù)接口及操作按鈕暴露在外表面上。該設(shè)計(jì)方式的優(yōu)點(diǎn)在于操作方便。缺點(diǎn)在于容易引起誤操作，由于維護(hù)接口和操作按鈕風(fēng)格、形狀不統(tǒng)一，會(huì)影響整機(jī)的美觀度。

此外，在光刻機(jī)中，有多個(gè)視頻源需要輸出。視頻源的類(lèi)型有兩種：一種為主顯示源，使用頻率高，提供給操作人員使用，需要確保其輸出的穩(wěn)定性、可靠性。另一種為維護(hù)顯示源，使用頻率低，提供給維護(hù)人員使用。現(xiàn)有的方法是采用多個(gè)顯示屏進(jìn)行顯示。其優(yōu)點(diǎn)是成本較低，其缺點(diǎn)是多個(gè)顯示屏放置在面板上，會(huì)增加顯示屏在面板上的占用體積，從而增大整個(gè)操作臺(tái)的體積，影響操作臺(tái)的美觀性。

因此設(shè)計(jì)一種美觀、裝拆、維護(hù)、接線方便，防止誤操作，滿(mǎn)足多視頻源輸出的操作臺(tái)十分有必要。

實(shí)用新型內(nèi)容

有鑒于現(xiàn)有技術(shù)的裝拆、維護(hù)、接線不夠方便，在進(jìn)行操作臺(tái)維護(hù)時(shí)影響生產(chǎn)的缺陷，本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種美觀、裝拆、維護(hù)、接線方便、防止誤操作并且滿(mǎn)足多視頻源輸出的操作臺(tái)。

根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)方面，提供了一種用于光刻機(jī)的操作臺(tái)，其包括可取下地集成入所述光刻機(jī)中的操作臺(tái)框架，其中所述操作臺(tái)的組件設(shè)在所述操作臺(tái)框架之中。所述操作臺(tái)包括對(duì)外接口單元，所述對(duì)外接口單元供所述操作臺(tái)所含有之組件與所述光刻機(jī)進(jìn)行連通。

一些實(shí)施例中，所述組件包括互相連接以執(zhí)行所述操作臺(tái)之功能的輸出裝置、輸入裝置、主機(jī)、控制面板、電源。

一些實(shí)施例中，所述輸出裝置包括對(duì)主視頻源進(jìn)行輸出的主顯示屏，以及維護(hù)顯示屏和視頻切換器。通過(guò)所述切換器切換為使用所述維護(hù)顯示屏輸出維護(hù)視頻源

一些實(shí)施例中，所述主顯示屏為翻轉(zhuǎn)式主顯示屏，其通過(guò)限位裝置連接在所述操作臺(tái)框架上，其中所述主顯示屏向下、向上，向左、或者向右翻轉(zhuǎn)，從而通過(guò)所述操作臺(tái)框架上與所述主顯示屏相對(duì)應(yīng)位置上的開(kāi)口來(lái)接觸所述組件。

一些實(shí)施例中，所述維護(hù)顯示屏為抽拉翻轉(zhuǎn)式顯示屏，其中，所述維護(hù)顯示屏在不工作時(shí)平躺放置，并且在工作時(shí)拉出一定距離后，向上翻轉(zhuǎn)至一個(gè)合適的角度。

一些實(shí)施例中，所述控制面板豎直放置并且包括外表面，所述控制面板豎直放置并且包括外表面，所述外表面可通過(guò)定位鉸鏈定位為水平位置或者豎直位置。當(dāng)所述外表面位于所述水平位置時(shí)，暴露所述控制面板。當(dāng)所述外表面位于所述豎直位置時(shí)，遮蓋所述控制面板。

一些實(shí)施例中，所述外表面包括暴露孔，已在所述外表面位于所述豎直位置時(shí)，暴露所述控制面板上的EMO按鈕。

一些實(shí)施例中，所述輸入裝置為標(biāo)準(zhǔn)鍵盤(pán)及軌跡球鼠標(biāo)。

一些實(shí)施例中，所述鼠標(biāo)和鍵盤(pán)固定嵌入所述操作臺(tái)，以使是所述鼠標(biāo)和鍵盤(pán)的最高點(diǎn)與所述鍵盤(pán)的托架上表面齊平。

一些實(shí)施例中，所述鼠標(biāo)位于所述鍵盤(pán)之前。

本實(shí)用新型的操作臺(tái)采用模塊化設(shè)計(jì)，在一體式設(shè)計(jì)的基礎(chǔ)上結(jié)合分離式設(shè)計(jì)的優(yōu)點(diǎn)，在保證操作臺(tái)高集成度的同時(shí)，提高了其裝拆、維護(hù)、接線的靈活性，降低了操作臺(tái)在維護(hù)中對(duì)整個(gè)光刻機(jī)的影響。

附圖說(shuō)明

參考下文較佳實(shí)施例的描述以及附圖，可最佳地理解本實(shí)用新型及其目的與優(yōu)點(diǎn)，其中：

圖1為現(xiàn)有技術(shù)中分離式操作臺(tái)的示意圖；

圖2為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本實(shí)用新型的其它安裝方式結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為翻轉(zhuǎn)式主顯示屏結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5為隱藏式面板結(jié)構(gòu)示意圖；

圖6為抽拉翻轉(zhuǎn)式維護(hù)顯示屏、及抽拉前后式鼠標(biāo)鍵盤(pán)結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式