[實用新型]光刻機的操作臺

有效

• 申請號: 201020596726.3
• 申請日: 2010-11-08
• 公開（公告）號: CN201926866U
• 公開（公告）日: 2011-08-10
• 發明（設計）人: 葉焱磊;霍志軍;陳建民
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種用于光刻機的操作臺，其特征在于，包括可取下地集成入所述光刻機中的操作臺框架，其中所述操作臺的組件設在所述操作臺框架之中；所述操作臺包括對外接口單元，所述對外接口單元供所述操作臺所含有之組件與所述光刻機進行連通。

2.如權利要求1所述的操作臺，其特征在于，所述組件包括互相連接以執行所述操作臺之功能的輸出裝置、輸入裝置、主機、控制面板、電源。

3.如權利要求2所述的操作臺，其特征在于，所述輸出裝置包括對主視頻源進行輸出的主顯示屏，以及維護顯示屏和視頻切換器，其中通過所述視頻切換器切換為使用所述維護顯示屏輸出維護視頻源。

4.如權利要求3所述的操作臺，其特征在于，所述主顯示屏為翻轉式顯示屏，通過限位裝置連接在所述操作臺框架上，所述主顯示屏向下、向上、向左、或者向右翻轉，從而通過所述操作臺框架上與所述主顯示屏相對應位置上的開口來接觸所述組件。

5.如權利要求3所述的操作臺，其特征在于，所述維護顯示屏為抽拉翻轉式顯示屏，其中，所述維護顯示屏在不工作時平躺放置，并且在工作時拉出一定距離后，向上翻轉至一個合適的角度。

6.如權利要求2所述的操作臺，其特征在于，所述控制面板豎直放置并且包括外表面，所述外表面通過定位鉸鏈定位為水平位置或者豎直位置，其中當所述外表面位于所述水平位置時，暴露所述控制面板，當所述外表面位于所述豎直位置時，遮蓋所述控制面板。

7.如權利要求6所述的操作臺，其特征在于，所述外表面包括暴露孔，以在所述外表面位于所述豎直位置時，暴露所述控制面板上的EMO按鈕。

8.如權利要求2所述的操作臺，其特征在于，所述輸入裝置為標準鍵盤及軌跡球鼠標。

9.如權利要求8所述的操作臺，其特征在于，所述鼠標和鍵盤固定嵌入所述操作臺，以使所述鼠標和鍵盤的最高點與所述鍵盤的托架上表面齊平。

10.如權利要求9所述的操作臺，其特征在于，所述鼠標位于所述鍵盤之前。