[實用新型]一種硅片的加工夾具

無效

• 申請號: 201020581660.0
• 申請日: 2010-10-28
• 公開（公告）號: CN201856163U
• 公開（公告）日: 2011-06-08
• 發明（設計）人: 聶金根
• 申請（專利權）人: 鎮江市港南電子有限公司
• 主分類號: B24B37/04
• 分類號: B24B37/04;B24B41/06
• 代理公司: 上海海頌知識產權代理事務所(普通合伙) 31258
• 代理人: 季萍

技術領域

本實用新型涉及一種夾具，特別涉及一種硅片的加工夾具，屬于硅片加工的技術領域。

背景技術

在硅片加工過程中，將硅棒加工成硅片后，硅片上會產生不規則的形狀，為了不影響后續加工的質量，要將該不規則邊去除。

傳統的去除不規則邊的工序是：將硅片用膠粘合在一起，再將不規則邊研磨掉。但是將硅片粘合在一起存在以下缺點：

1、尺寸研磨工序結束后，進行表面研磨工序時，要先將粘合在一起的硅片通過溶解或清洗的方法分開，從而，增加了硅片的損壞率。

2、由于硅片是通常膠粘合在一起的，雖然，通過清洗會將膠液去除，但仍會有殘余的化合物留存，從而，影響硅片表面的平整度，給下道工序增加難度。

為了解決上述技術問題，近來，出現了一種夾具，該夾具包括定位夾，定位夾內設有夾緊板及鎖緊螺桿，鎖緊螺桿一端插入定位夾內，并頂在夾緊板上，使用時，將硅片排列整齊的放在空位夾內，調節鎖緊螺桿，使夾緊板將硅片夾緊，該夾具解決了上述技術問題，但該夾具是通過鎖緊螺桿推動夾緊板，實現硅片夾緊的，使用時，硅片與夾緊板之間沒有任何緩沖，研磨過程中，容易使硅片產生損壞；且由于研磨過程中，產生震動而使硅片松動。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是提供一種結構簡單的硅片的加工夾具，該夾具可避免研磨過程中，硅片的損壞。

為了解決上述技術問題，本實用新型一種硅片的加工夾具，包括定位夾，夾緊板，夾緊裝置，其中，所述夾緊裝置為氣缸裝置。

上述一種硅片的加工夾具，其中，所述氣缸裝置包括推桿、缸體，所述推桿一端可活動的設置在缸體內，另一端與所述夾緊板固定連接；所述推桿的外周面與所述缸體的內周面密封配合。

本實用新型可實現以下有益效果：

1、由于所述夾緊裝置為氣缸裝置，夾緊板夾緊硅片后，研磨過程中硅片因震動松動時，氣缸的推桿會在氣體的推動下，自動調節，避免硅片松開，且本實用新型結構簡單。

2、由于所述氣缸裝置包括推桿、缸體，所述推桿一端可活動的設置在缸體內，另一端與所述夾緊板固定連接；所述推桿的外周面與所述缸體的內周面密封配合，從而，方便了使用，且節約了空間。

附圖說明

圖1是本實用新型的結構示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型作進一步說明。

為了解決上述技術問題，本實用新型一種硅片的加工夾具，包括定位夾1，夾緊板2，夾緊裝置3，定位夾1為整體構件，該整體構件設空腔5，所述夾緊裝置3為氣缸裝置。由于所述夾緊裝置為氣缸裝置，夾緊板2夾緊硅片后，研磨過程中硅片因震動松動時，氣缸的推桿31會在氣體的推動下，自動調節，避免硅片4松開，且本實用新型結構簡單。所述氣缸裝置包括推桿31、缸體32，所述推桿31一端可活動的設置在缸體32內，另一端與所述夾緊板2固定連接；所述推桿31的外周面與所述缸體32內周面密封配合。

這里本實用新型的描述和應用是說明性的，并非想將本實用新型的范圍限制在上述實施例中，因此，本實用新型不受本實施例的限制，任何采用等效替換取得的技術方案均在本實用新型保護的范圍內。?