[實用新型]一種硅片的加工夾具無效
| 申請號： | 201020581660.0 | 申請日： | 2010-10-28 |
| 公開（公告）號： | CN201856163U | 公開（公告）日： | 2011-06-08 |
| 發明（設計）人： | 聶金根 | 申請（專利權）人： | 鎮江市港南電子有限公司 |
| 主分類號： | B24B37/04 | 分類號： | B24B37/04;B24B41/06 |
| 代理公司： | 上海海頌知識產權代理事務所(普通合伙) 31258 | 代理人： | 季萍 |
| 地址： | 212132 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 硅片 加工 夾具 | ||
【權利要求書】：
1.一種硅片的加工夾具，包括定位夾，夾緊板，夾緊裝置，其特征在于，所述夾緊裝置為氣缸裝置。
2.如權利要求1所述一種硅片的加工夾具，其特征于在，所述氣缸裝置包括推桿、缸體，所述推桿一端可活動的設置在缸體內，另一端與所述夾緊板固定連接；所述推桿的外周面與所述缸體的內周面密封配合。
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