[實用新型]硅片移動托架的升降機構

無效

• 申請號: 201020581489.3
• 申請日: 2010-10-29
• 公開（公告）號: CN201858874U
• 公開（公告）日: 2011-06-08
• 發明（設計）人: 孫鐵囤;荀建華;劉志剛;高玉山;潘盛;姚偉忠;陳瓊
• 申請（專利權）人: 常州億晶光電科技有限公司
• 主分類號: F27B9/30
• 分類號: F27B9/30;F27D3/12
• 代理公司: 常州市維益專利事務所 32211
• 代理人: 周祥生

1.一種硅片移動托架的升降機構，其特征是：包括水平推桿(61)、擺桿(62)、轉軸(63)、軸承座(64)、偏心輪(65)、滾輪(66)、耳座(67)、活動板(15、35)和固定底板(11、31)，轉軸(63)通過軸承座(64)安裝在固定底板(11、31)上，偏心輪(65)固定安裝在轉軸(63)上，擺桿(62)的上端固定安裝在轉軸(63)上，轉軸(63)可轉動地安裝在固定底板(11、31)上，擺桿(62)的下端與水平推桿(61)鉸接，滾輪(66)通過耳座(67)固定在活動板(15、35)的下端面上，滾輪(66)與偏心輪(65)相接觸。