[實用新型]對位平臺

有效

• 申請號: 201020580600.7
• 申請日: 2010-10-28
• 公開（公告）號: CN201895447U
• 公開（公告）日: 2011-07-13
• 發明（設計）人: 唐志穩;景建平;劉宏宇
• 申請（專利權）人: 蘇州凱蒂亞半導體制造設備有限公司
• 主分類號: B32B38/18
• 分類號: B32B38/18;B32B41/00
• 代理公司: 蘇州創元專利商標事務所有限公司 32103
• 代理人: 馬明渡

1.一種對位平臺，其特征在于：包括一臺面，該臺面下按一矩形的四角布置四個支承機構；每個支承機構由一支承軸承下設一十字導軌副組成，所述十字導軌副由上導軌、與上導軌十字交叉的下導軌以及滑動連接在上、下導軌間的中間滑塊組成；所述支承軸承的上端與臺面固定連接，其下端與對應的十字導軌副的上導軌固定連接，而所述十字導軌副的下導軌供固定于安裝基面上；

設所述矩形的縱向邊的方向為X向，而橫向邊的方向為Y向；四個支承機構中，位于所述矩形的一條Y向邊兩端的兩支承機構中的十字導軌副的下導軌是沿X向布置的，且這兩十字導軌副的中間滑塊上各作用有一X向推拉驅動機構；而另有一個支承機構的十字導軌副的下導軌是沿Y方向布置的，且這個十字導軌副的中間滑塊上作用有一Y向推拉驅動機構；

所述X向推拉驅動機構和Y向推拉驅動機構均主要由伺服電機以及絲杠螺母機構連接構成，X向推拉驅動機構的絲杠沿X向布置，而Y向推拉驅動機構的絲杠沿Y向布置。

2.根據權利要求1所述對位平臺，其特征在于：所述臺面的對角上開設有銷棒穿置孔，并配有銷棒，供銷棒穿于該銷棒穿置孔中與安裝基面插銷固定。

3.一種對位平臺，其特征在于：包括一臺面，該臺面下按一矩形的四角布置四個支承機構；每個支承機構由一支承軸承下設一十字導軌副組成，所述十字導軌副由上導軌、與上導軌十字交叉的下導軌以及滑動連接在上、下導軌間的中間滑塊組成；所述支承軸承的上端與臺面固定連接，其下端與對應的十字導軌副的上導軌固定連接，而所述十字導軌副的下導軌供固定于安裝基面上；

設所述矩形的縱向邊的方向為X向，而橫向邊的方向為Y向；四個支承機構中，有兩個對角的支承機構中的十字導軌副的下導軌是沿X向布置的，且這兩十字導軌副的中間滑塊上各作用有一X向推拉驅動機構；而另有一個支承機構的十字導軌副的下導軌是沿Y方向布置的，且這個十字導軌副的中間滑塊上作用有一Y向推拉驅動機構；

所述X向推拉驅動機構和Y向推拉驅動機構均主要由伺服電機以及絲杠螺母機構連接構成，X向推拉驅動機構的絲杠沿X向布置，而Y向推拉驅動機構的絲杠沿Y向布置。

4.根據權利要求3所述對位平臺，其特征在于：所述臺面的對角上開設有銷棒穿置孔，并配有銷棒，供銷棒穿于該銷棒穿置孔中與安裝基面插銷固定。