[實(shí)用新型]對位平臺

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201020580600.7
• 申請日: 2010-10-28
• 公開（公告）號: CN201895447U
• 公開（公告）日: 2011-07-13
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 唐志穩(wěn);景建平;劉宏宇
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州凱蒂亞半導(dǎo)體制造設(shè)備有限公司
• 主分類號: B32B38/18
• 分類號: B32B38/18;B32B41/00
• 代理公司: 蘇州創(chuàng)元專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 32103
• 代理人: 馬明渡

1.一種對位平臺，其特征在于：包括一臺面，該臺面下按一矩形的四角布置四個支承機(jī)構(gòu)；每個支承機(jī)構(gòu)由一支承軸承下設(shè)一十字導(dǎo)軌副組成，所述十字導(dǎo)軌副由上導(dǎo)軌、與上導(dǎo)軌十字交叉的下導(dǎo)軌以及滑動連接在上、下導(dǎo)軌間的中間滑塊組成；所述支承軸承的上端與臺面固定連接，其下端與對應(yīng)的十字導(dǎo)軌副的上導(dǎo)軌固定連接，而所述十字導(dǎo)軌副的下導(dǎo)軌供固定于安裝基面上；

設(shè)所述矩形的縱向邊的方向?yàn)閄向，而橫向邊的方向?yàn)閅向；四個支承機(jī)構(gòu)中，位于所述矩形的一條Y向邊兩端的兩支承機(jī)構(gòu)中的十字導(dǎo)軌副的下導(dǎo)軌是沿X向布置的，且這兩十字導(dǎo)軌副的中間滑塊上各作用有一X向推拉驅(qū)動機(jī)構(gòu)；而另有一個支承機(jī)構(gòu)的十字導(dǎo)軌副的下導(dǎo)軌是沿Y方向布置的，且這個十字導(dǎo)軌副的中間滑塊上作用有一Y向推拉驅(qū)動機(jī)構(gòu)；

所述X向推拉驅(qū)動機(jī)構(gòu)和Y向推拉驅(qū)動機(jī)構(gòu)均主要由伺服電機(jī)以及絲杠螺母機(jī)構(gòu)連接構(gòu)成，X向推拉驅(qū)動機(jī)構(gòu)的絲杠沿X向布置，而Y向推拉驅(qū)動機(jī)構(gòu)的絲杠沿Y向布置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述對位平臺，其特征在于：所述臺面的對角上開設(shè)有銷棒穿置孔，并配有銷棒，供銷棒穿于該銷棒穿置孔中與安裝基面插銷固定。

3.一種對位平臺，其特征在于：包括一臺面，該臺面下按一矩形的四角布置四個支承機(jī)構(gòu)；每個支承機(jī)構(gòu)由一支承軸承下設(shè)一十字導(dǎo)軌副組成，所述十字導(dǎo)軌副由上導(dǎo)軌、與上導(dǎo)軌十字交叉的下導(dǎo)軌以及滑動連接在上、下導(dǎo)軌間的中間滑塊組成；所述支承軸承的上端與臺面固定連接，其下端與對應(yīng)的十字導(dǎo)軌副的上導(dǎo)軌固定連接，而所述十字導(dǎo)軌副的下導(dǎo)軌供固定于安裝基面上；

設(shè)所述矩形的縱向邊的方向?yàn)閄向，而橫向邊的方向?yàn)閅向；四個支承機(jī)構(gòu)中，有兩個對角的支承機(jī)構(gòu)中的十字導(dǎo)軌副的下導(dǎo)軌是沿X向布置的，且這兩十字導(dǎo)軌副的中間滑塊上各作用有一X向推拉驅(qū)動機(jī)構(gòu)；而另有一個支承機(jī)構(gòu)的十字導(dǎo)軌副的下導(dǎo)軌是沿Y方向布置的，且這個十字導(dǎo)軌副的中間滑塊上作用有一Y向推拉驅(qū)動機(jī)構(gòu)；

所述X向推拉驅(qū)動機(jī)構(gòu)和Y向推拉驅(qū)動機(jī)構(gòu)均主要由伺服電機(jī)以及絲杠螺母機(jī)構(gòu)連接構(gòu)成，X向推拉驅(qū)動機(jī)構(gòu)的絲杠沿X向布置，而Y向推拉驅(qū)動機(jī)構(gòu)的絲杠沿Y向布置。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述對位平臺，其特征在于：所述臺面的對角上開設(shè)有銷棒穿置孔，并配有銷棒，供銷棒穿于該銷棒穿置孔中與安裝基面插銷固定。