[實用新型]傳送系統

有效

• 申請號: 201020565105.9
• 申請日: 2010-10-16
• 公開（公告）號: CN201845751U
• 公開（公告）日: 2011-05-25
• 發明（設計）人: 周琦;李秀軍;李友溪;袁洪
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

技術領域

本實用新型涉及集成電路工藝裝置，特別涉及一種傳送系統。

背景技術

隨著集成電路的半導體元件的集成度日益增加，工藝的準確度就顯得格外重要。因為一旦在工藝中發生些微的錯誤，即可能造成工藝的失敗，導致晶片的毀損或報廢，因而耗費大量成本。

一般在半導體工藝中，半導體工藝的設備由多個相鄰的工藝反應室所組成，并藉由傳送系統(load?lock)，使晶片在各個工藝反應室間傳輸。晶片在工藝反應室之間的傳輸，利用機械手臂，將晶片從位于傳送系統內的晶舟中取出，傳送至工藝反應室內進行工藝反應，并于工藝結束后將晶片取回，再送回至晶舟中，以進行下一系列的工藝步驟。機械手將晶片從位于傳送系統內的晶舟中取出的過程中，所述晶舟及機械手都應處于預定的位置，如此，可防止機械手從晶舟中取出晶片時，由于位置的差異造成晶片損傷。為了使晶舟能處于預定的位置，傳送系統在每傳送完一定數量的晶片后，通常為20個晶舟后，會攜帶著下一個晶舟，自動做一次校正(do?home)，以確保晶舟處于預定的位置。

如圖1所示，為現有載有晶舟的傳送系統示意圖。傳送系統1包括：承載臺10，用以承載晶舟100；驅動軸11，其一端與承載臺10連接，用以驅動承載臺10的上升與下降；馬達12，通過傳動裝置13與驅動軸11連接，用以控制驅動軸11的動作；光軸15，通過滑動裝置14與驅動軸11滑動連接，確保驅動軸11的上升下降是垂直進行的。此外，傳送系統1還包括擋片16及預定位置傳感器17(home?sensor)，所述擋片16固定于驅動軸11上，所述預定位置傳感器17固定于傳送系統1內的支架上(圖1中未示出)，所述預定位置傳感器17通常為光敏傳感器，當傳送系統1自動做位置校正時，驅動軸11下降，通過擋片16遮住預定位置傳感器17，預定位置傳感器17發出信號，可知此時的位置為預定位置。然而，在傳送系統1做自動校正的過程中，如果所述預定位置傳感器17已發生損壞，此時，預定位置傳感器17將不發出信號，驅動軸11便會一直下降，以期找到預定位置。最終，將導致驅動軸11持續下沉，從而使得與其連接的所述承載臺10及承載臺10所承載的晶舟100在此過程中，由于與傳送系統1內其他裝置碰撞，或者承載臺10碰觸傳送系統1底部而造成損壞，晶舟100中通常載有25片晶圓，如此，可能會造成多達1.5萬美元的直接經濟損失。

為此，在預定位置傳感器17失效的情況下，使得驅動軸11不下沉，從而保證承載臺10及其承載的晶舟100不因此而受損壞，成了一個亟待解決的問題。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種傳送系統，以解決現有的傳送系統在預定位置傳感器失效的情況下，驅動軸下沉，從而使得承載臺及承載臺所承載的晶舟受損的問題。

為解決上述技術問題，本實用新型提供一種傳送系統，所述傳送系統包括：承載臺，用以承載晶舟；驅動軸，其一端與所述承載臺連接，用以驅動所述承載臺的上升與下降；馬達，通過傳動裝置與所述驅動軸連接，用以控制所述驅動軸的動作；光軸，通過滑動裝置與所述驅動軸滑動連接；所述光軸上設置有制動裝置，所述制動裝置上設置有傳感器，所述傳感器與馬達控制器連接，所述馬達控制器與所述馬達連接。

可選的，所述制動裝置套接在所述光軸上。

可選的，所述制動裝置是厚度為15～25cm，外徑為50～70cm，內徑與所述光軸直徑吻合的圓柱形套管。

可選的，所述制動裝置是厚度為15～25cm，邊長為50～70cm，內徑與所述光軸直徑吻合的長方體形套管。

可選的，所述制動裝置通過支架固定于所述光軸上。

可選的，所述制動裝置是由聚酯材料制成的。

可選的，所述制動裝置上設置有一個傳感器。

可選的，所述制動裝置上設置有兩個以上傳感器。

可選的，所述制動裝置上設置的傳感器位于所述驅動軸的正下方。

可選的，所述馬達控制器上還安裝有報警裝置。

可選的，所述報警裝置是LED發光器。

可選的，所述報警裝置是發生器。