[實用新型]傳送系統有效
| 申請號： | 201020565105.9 | 申請日： | 2010-10-16 |
| 公開（公告）號： | CN201845751U | 公開（公告）日： | 2011-05-25 |
| 發明（設計）人： | 周琦;李秀軍;李友溪;袁洪 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/677 | 分類號： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李時云 |
| 地址： | 201203 上*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 傳送 系統 | ||
1.一種傳送系統，包括：
承載臺，用以承載晶舟；
驅動軸，其一端與所述承載臺連接，用以驅動所述承載臺的上升與下降；
馬達，通過傳動裝置與所述驅動軸連接，用以控制所述驅動軸的動作；
光軸，通過滑動裝置與所述驅動軸滑動連接；
其特征在于，所述光軸上設置有制動裝置，所述制動裝置上設置有傳感器，所述傳感器與馬達控制器連接，所述馬達控制器與所述馬達連接。
2.如權利要求1所述的傳送系統，其特征在于，所述制動裝置套接在所述光軸上。
3.如權利要求2所述的傳送系統，其特征在于，所述制動裝置是厚度為15～25cm，外徑為50～70cm，內徑與所述光軸直徑吻合的圓柱形套管。
4.如權利要求2所述的傳送系統，其特征在于，所述制動裝置是厚度為15～25cm，邊長為50～70cm，內徑與所述光軸直徑吻合的長方體形套管。
5.如權利要求1所述的傳送系統，其特征在于，所述制動裝置通過支架固定于所述光軸上。
6.如權利要求1或2或5所述的傳送系統，其特征在于，所述制動裝置是由聚酯材料制成的。
7.如權利要求1或2或5所述的傳送系統，其特征在于，所述制動裝置上設置有一個傳感器。
8.如權利要求1或2或5所述的傳送系統，其特征在于，所述制動裝置上設置有兩個以上傳感器。
9.如權利要求1或2或5所述的傳送系統，其特征在于，所述制動裝置上設置的傳感器位于所述驅動軸的正下方。
10.如權利要求1或2或5所述的傳送系統，其特征在于，所述馬達控制器上還安裝有報警裝置。
11.如權利要求10所述的傳送系統，其特征在于，所述報警裝置是LED發光器。
12.如權利要求10所述的傳送系統，其特征在于，所述報警裝置是發生器。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于中芯國際集成電路制造（上海）有限公司，未經中芯國際集成電路制造（上海）有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201020565105.9/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 同類專利
- 專利分類
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
