[實用新型]大直徑水晶圓片倒角工裝

無效

• 申請號: 201020561976.3
• 申請日: 2010-10-15
• 公開（公告）號: CN201824234U
• 公開（公告）日: 2011-05-11
• 發明（設計）人: 宋紅杰;許建峰
• 申請（專利權）人: 北京石晶光電科技股份有限公司濟源分公司
• 主分類號: B24B37/00
• 分類號: B24B37/00;B24B41/00
• 代理公司: 鄭州紅元帥專利代理事務所(普通合伙) 41117
• 代理人: 黃軍委

技術領域

本實用新型涉及一種水晶加工行業用的晶片倒角設備，具體地說，涉及一種大直徑水晶圓片倒角工裝。

背景技術

現有的圓片倒角機是一種廣泛應用于玻璃、水晶加工等行業的倒角設備，?傳統操作是將水晶圓片在圓片倒角機上進行倒角，但只針對直徑≤的圓片倒角效果才較好，如果是大直徑的水晶圓片，直徑在62毫米而且厚度只有0.4毫米，倒角效果就非常差；?

高品質圓型拋光水晶片是用于航空測試領域的產品，它的加工要求非常高，目前，對它的倒角控制一直沒有一個好的制造工藝，主要因素是其直徑比較大，厚度非常薄，只有0.4毫米，因此加工起來非常困難，質量難以控制，廢品率高，由于直徑太大不好固定找圓心，因此倒角尺寸非常不均勻，崩邊問題嚴重，質量不能夠達到要求；

因此，人們一直在尋求一種易于操作、適合大直徑水晶圓片倒角的工裝及其倒角方法。

發明內容

本實用新型的目的是針對現有技術的不足，從而提供一種設計巧妙、使用方便、省時省力、工作效率高、產品合格率高的大直徑水晶圓片倒角工裝。

為了實現上述目的，本實用新型提供一種大直徑水晶圓片倒角工裝，它包括四軸研磨機、碗型倒角工裝和水晶圓片真空粘鉤，所述碗型倒角工裝包括具有球形凹面的碗體和設置在碗體下部的連接體，所述碗體的球形凹面上設置有一層研磨砂，所述碗型倒角工裝的連接體安裝于所述四軸研磨機的傳動軸上，所述水晶圓片真空粘鉤中心對應所述球形凹面的中心設置。

基于上述，所述水晶圓片真空粘鉤的頂部設置有手柄。

本實用新型相對現有技術具有實質性特點和進步，具體的說，該大直徑水晶圓片倒角工裝適合各種大直徑的水晶圓片的倒角，并且工作效率高，產品質量高，易于操作，很好的解決了大直徑超薄圓形晶片的倒角和崩邊問題，另外，制造成本低廉，易于成本控制；

該倒角工裝具有操作簡單、研磨效果理想、倒角質量可靠、無崩邊的優點。

附圖說明

圖1為本實用新型所述大直徑水晶圓片倒角工裝的結構示意圖。

具體實施方式

下面通過具體實施方式，對本實用新型的技術方案做進一步的詳細描述。

如圖1所示，一種大直徑水晶圓片倒角工裝，它包括四軸研磨機6、碗型倒角工裝和水晶圓片真空粘鉤2；

其中，所述碗型倒角工裝包括具有球形凹面4的碗體1和設置在碗體1下部的連接體5，所述碗體1的球形凹面4上設置有一層研磨砂，所述碗型倒角工裝的連接體5安裝于所述四軸研磨機6的傳動軸上，所述水晶圓片真空粘鉤2的中心對應所述球形凹面4的中心設置。

基于上述，所述水晶圓片真空粘鉤2的頂部設置有手柄。

一種大直徑水晶圓片的倒角方法，它包括以下步驟：

步驟1、啟動四軸研磨機6，調整四軸研磨機6的轉速并使之勻速旋轉；

采用水晶圓片真空粘鉤2吸附住水晶圓片3，并使水晶圓片真空粘鉤2的中心與水晶圓片3的圓心對應；

步驟2、將水晶圓片真空粘鉤2和水晶圓片3置于碗型倒角工裝的球形凹面4內，使水晶圓片3與球形凹面4接觸并使水晶圓片3的圓心對應球形凹面4的中心，通過旋轉的球形凹面4對水晶圓片3的邊緣進行勻速的研磨，即對水晶圓片3的邊緣進行均勻的倒角；

倒角的同時，向球形凹面4與水晶圓片3的接觸部位注入研磨液。

該水晶圓片倒角工裝的碗型倒角工裝安裝在四軸研磨機的傳動軸上，利用傳動軸帶動碗型倒角工裝旋轉，并巧妙的利用了生活中常見的真空粘鉤來粘住水晶圓片，這樣就可以用手握住真空粘鉤的柄部，將水晶圓片靠近碗型倒角工裝的球形凹面上，在研磨液的配合作用下，可以很理想的將水晶圓片倒角，研磨效果非常理想，這樣，非常好的控制了大直徑水晶圓片的倒角工藝，提高了產品的質量。

最后應當說明的是：以上實施例僅用以說明本實用新型的技術方案而非對其限制；盡管參照較佳實施例對本實用新型進行了詳細的說明，所屬領域的普通技術人員應當理解：依然可以對本實用新型的具體實施方式進行修改或者對部分技術特征進行等同替換；而不脫離本實用新型技術方案的精神，其均應涵蓋在本實用新型請求保護的技術方案范圍當中。