[實用新型]大直徑水晶圓片倒角工裝無效
| 申請號： | 201020561976.3 | 申請日： | 2010-10-15 |
| 公開（公告）號： | CN201824234U | 公開（公告）日： | 2011-05-11 |
| 發明（設計）人： | 宋紅杰;許建峰 | 申請（專利權）人： | 北京石晶光電科技股份有限公司濟源分公司 |
| 主分類號： | B24B37/00 | 分類號： | B24B37/00;B24B41/00 |
| 代理公司： | 鄭州紅元帥專利代理事務所(普通合伙) 41117 | 代理人： | 黃軍委 |
| 地址： | 454650 河南省濟*** | 國省代碼： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 直徑 水晶 倒角 工裝 | ||
【權利要求書】：
1.一種大直徑水晶圓片倒角工裝，其特征在于：該大直徑水晶圓片倒角工裝包括四軸研磨機、碗型倒角工裝和水晶圓片真空粘鉤，所述碗型倒角工裝包括具有球形凹面的碗體和設置在碗體下部的連接體，所述碗體的球形凹面上設置有一層研磨砂，所述碗型倒角工裝的連接體安裝于所述四軸研磨機的傳動軸上，所述水晶圓片真空粘鉤中心對應所述球形凹面的中心設置。
2.權利要求1所述的大直徑水晶圓片倒角工裝，其特征在于：所述水晶圓片真空粘鉤的頂部設置有手柄。
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