[實用新型]基片對位上載裝置

無效

• 申請號: 201020555903.3
• 申請日: 2010-09-30
• 公開（公告）號: CN201956333U
• 公開（公告）日: 2011-08-31
• 發明（設計）人: 楊明生;王曼媛;劉惠森;范繼良;王勇;張華
• 申請（專利權）人: 東莞宏威數碼機械有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/677;H01L21/68
• 代理公司: 廣州三環專利代理有限公司 44202
• 代理人: 張艷美;郝傳鑫

1.一種基片對位上載裝置，用于真空環境下上載基片，其特征在于，包括真空腔體、夾持機構，及位于所述真空腔體內的夾持輸送機構、夾持升降機構、基片輸送機構、基片升降機構和基片對位機構，所述夾持機構用于夾持基片，所述夾持輸送機構帶動所述夾持機構沿水平方向輸入輸出所述真空腔體，所述夾持升降機構驅動所述夾持機構做升降運動，所述基片輸送機構帶動所述基片沿水平方向輸入所述真空腔體，所述基片升降機構位于所述基片下方并驅動所述基片做升降運動，所述基片對位機構調整所述基片在水平方向上的位置。

2.如權利要求1所述的基片對位上載裝置，其特征在于，所述夾持機構包括夾持板、夾持驅動機構和頂輪機構，所述夾持板上具有若干夾子，所述夾持驅動裝置驅動所述頂輪機構做升降運動，所述頂輪機構觸壓所述夾子的頂部并控制所述夾子打開或者關閉。

3.如權利要求2所述的基片對位上載裝置，其特征在于，所述夾持輸送機構包括夾持軌道、電機、齒輪，所述電機與所述齒輪的轉動軸相連并帶動所述齒輪轉動，所述夾持板的側壁上具有齒條，所述齒輪與所述齒條相嚙合并帶動所述夾持板在所述夾持軌道上移動。

4.如權利要求3所述的基片對位上載裝置，其特征在于，所述夾持板與所述夾持軌道相接觸的部位安裝有滾輪。

5.如權利要求1所述的基片對位上載裝置，其特征在于，所述基片輸送機構包括輸送部和驅動部，所述輸送部包括若干導軌和軸套，所述導軌兩兩相對且并行排列在所述真空腔體內，所述軸套呈臺階狀并安裝在所述導軌內端，所述驅動部包括蝸桿和蝸輪，所述蝸桿與所述蝸輪相配合并帶動所述蝸輪轉動，所述蝸輪固定在所述導軌的外端并帶動所述導軌轉動，所述軸套承載所述基片?并帶動所述基片輸入至所述真空腔體。

6.如權利要求5所述的基片對位上載裝置，其特征在于，所述軸套外包裹有橡膠層。

7.如權利要求1所述的基片對位上載裝置，其特征在于，所述基片對位機構包括對位固定架、第一對位驅動機構、第二對位驅動機構、第一對位頭和第二對位頭，所述第一對位頭和第二對位頭位于同一水平面且相互垂直，所述對位固定架上固定安裝有與所述第一對位頭相對的第一對位架和與所述第二對位頭相對的第二對位架，所述第一對位驅動機構控制所述第一對位頭向所述第一對位架方向移動，所述第二對位驅動機構控制所述第二對位頭向所述第二對位架方向移動。

8.如權利要求1所述的基片對位上載裝置，其特征在于，所述夾持升降機構包括第一夾持升降機構和第二夾持升降機構，所述第一夾持升降機構與所述夾持輸送機構相連并帶動所述夾持輸送機構做升降運動，所述第二夾持升降機構位于所述夾持機構下方并帶動所述夾持機構做升降運動。

9.如權利要求1所述的基片對位上載裝置，其特征在于，所述基片升降機構包括驅動電機、升降桿和升降板，所述驅動電機與所述升降桿相連并控制所述升降桿動作，所述升降桿與所述升降板相連并帶動所述升降板做升降運動，所述升降板位于所述基片下方并帶動所述基片做升降運動。?