[實用新型]直列式二極管晶粒測分設備有效
| 申請號: | 201020551318.6 | 申請日: | 2010-10-05 |
| 公開(公告)號: | CN201853683U | 公開(公告)日: | 2011-06-01 |
| 發明(設計)人: | 林加斌;許資彬 | 申請(專利權)人: | 強茂電子(無錫)有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/66 | 分類號: | H01L21/66 |
| 代理公司: | 上海海頌知識產權代理事務所(普通合伙) 31258 | 代理人: | 任益 |
| 地址: | 214028 江蘇省*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 直列式 二極管 晶粒 設備 | ||
1.一種直列式二極管晶粒測分設備,包括機身(18)、測試電腦(15),機身(18)上設置有工作臺面(17),其特征在于:所述工作臺面(17)上設置有列式晶粒吸盤(8),?工作臺面(17)上列式晶粒吸盤(8)的后側設置有晶粒頂針(13),工作臺面(17)上晶粒頂針(13)的后側設置有晶粒分級盒(14)的落料槽(19),晶粒分級盒(14)設置在工作臺面(17)的下方,機身(18)上工作臺面(17)的上方兩側設置有滑動導軌(10),所述滑動導軌(10)上設置有可與其相對滑動的移動單元(11),所述移動單元(11)的下端面上設置有晶粒吸嘴(9),所述移動單元(11)的上方為機臺控制盒(12),機臺控制盒(12)通過連線(16)與移動單元(11)連接。
2.根據權利要求1所述的直列式二極管晶粒測分設備,其特征在于:所述機臺控制盒(12)通過連線(16)與移動單元(11)下端面的晶粒吸嘴(9)連接。
3.根據權利要求1所述的直列式二極管晶粒測分設備,其特征在于:所述測試電腦(15)設置在工作臺面(17)的下方、晶粒分級盒(14)的前端。
4.根據權利要求1所述的直列式二極管晶粒測分設備,其特征在于:所述工作臺面(17)上晶粒頂針(13)的后側晶粒分級盒(14)的落料槽(19)至少設置兩列。?
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





