[實用新型]硅片轉速檢知裝置及帶硅片轉速檢知裝置的硅片清洗裝置無效
| 申請號： | 201020551086.4 | 申請日： | 2010-09-30 |
| 公開（公告）號： | CN201815947U | 公開（公告）日： | 2011-05-04 |
| 發明（設計）人： | 牛曉翔 | 申請（專利權）人： | 上海華虹NEC電子有限公司 |
| 主分類號： | B24B37/00 | 分類號： | B24B37/00;B08B1/00 |
| 代理公司： | 上海浦一知識產權代理有限公司 31211 | 代理人： | 張驥 |
| 地址： | 201206 上*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 硅片 轉速 裝置 清洗 | ||
【權利要求書】：
1.一種硅片轉速檢知裝置，其特征在于：包括設置于殼體內的旋轉軸、遮擋片、光電傳感器、控制器，旋轉軸的一端伸出殼體，旋轉軸的另一端固定設置有遮擋片；遮擋片的一側設有光電傳感器；光電傳感器電連接控制器。
2.根據權利要求1所述的硅片轉速檢知裝置，其特征在于：所述控制器為可編程邏輯控制器。
3.根據權利要求1所述的硅片轉速檢知裝置，其特征在于：所述旋轉軸通過軸承與殼體活動連接。
4.根據權利要求1所述的硅片轉速檢知裝置，其特征在于：所述遮擋片的長度為10mm。
5.一種帶權利要求1或2所述的硅片轉速檢知裝置的硅片清洗裝置，其特征在于：包括刷子、滾軸、硅片轉速檢知裝置，滾軸設置于硅片的底部，刷子設置于硅片的兩側；硅片轉速檢知裝置的旋轉軸一端與滾軸固定連接，硅片轉速檢知裝置的殼體通過支架固定于硅片下方。
6.根據權利要求5所述的帶硅片轉速檢知裝置的硅片清洗裝置，其特征在于：所述支架的底部設有彈簧。
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