[實用新型]太陽能電池鏈式濕法刻蝕設備的刻蝕槽蓋板

無效

• 申請號: 201020548421.5
• 申請日: 2010-09-29
• 公開（公告）號: CN201809440U
• 公開（公告）日: 2011-04-27
• 發明（設計）人: 孟利萍
• 申請（專利權）人: 常州天合光能有限公司
• 主分類號: C23F1/08
• 分類號: C23F1/08;H01L31/18
• 代理公司: 常州市維益專利事務所 32211
• 代理人: 王凌霄

技術領域

本實用新型涉及太陽能電池鏈式濕法刻蝕設備技術領域，特別是一種太陽能電池鏈式濕法刻蝕設備的刻蝕槽蓋板。

背景技術

現有太陽能電池鏈式濕法刻蝕設備如RENA?Inoxside機臺的刻蝕槽蓋板的形狀設計均為平面形。在生產過程中，由于酸氣的揮發，較長時間后便會在蓋板處聚集眾多液滴。當液體聚集到一定量后，由于自身重力，將低落到正常生產時經過的硅片擴散面上，從而造成擴散面異常，形成不良片。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是：避免刻蝕槽蓋板上的液滴滴落在硅片擴散面上，從而減少出現液滴片的概率，降低不良片發生幾率。

本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：一種太陽能電池鏈式濕法刻蝕設備的刻蝕槽蓋板，刻蝕槽蓋板為弧形，蓋板中部高，四周低。

刻蝕槽蓋板的一端與刻蝕槽通過鉸鏈連接，在鉸接處的相對側上設置把手。

本實用新型的有益效果是：通過改變刻蝕槽蓋板的形狀，將平面形蓋板設計成弧面形，使得酸氣聚集成液滴后可沿蓋板流至機臺邊緣而回到刻蝕槽中，目前由液滴造成的不良片比例大約為0.1％左右。本設計可減少刻蝕槽液滴滴落到硅片擴散面上的幾率，從而降低由液滴滴落造成的不良片的比例。

附圖說明

下面結合附圖和具體實施方式對本實用新型作進一步詳細的說明；

圖1是本實用新型的刻蝕槽蓋板的結構示意圖；

其中：1.刻蝕槽蓋板，2.刻蝕槽，3.把手，4.酸氣，5.液滴。

具體實施方式

現在結合附圖1對本實用新型作進一步詳細的說明。該附圖均為簡化的示意圖，僅以示意方式說明本實用新型的基本結構，因此其僅顯示與本實用新型有關的構成。

一種太陽能電池鏈式濕法刻蝕設備的刻蝕槽蓋板，刻蝕槽蓋板1為弧形，蓋板中部高，四周低，酸氣聚集成液滴后可沿蓋板流至機臺邊緣而回到刻蝕槽2中。刻蝕槽蓋板1的一端與刻蝕槽2通過鉸鏈連接，在鉸接處的相對側上設置把手3。