[實用新型]太陽能電池鏈式濕法刻蝕設備的刻蝕槽蓋板無效
| 申請號： | 201020548421.5 | 申請日： | 2010-09-29 |
| 公開（公告）號： | CN201809440U | 公開（公告）日： | 2011-04-27 |
| 發明（設計）人： | 孟利萍 | 申請（專利權）人： | 常州天合光能有限公司 |
| 主分類號： | C23F1/08 | 分類號： | C23F1/08;H01L31/18 |
| 代理公司： | 常州市維益專利事務所 32211 | 代理人： | 王凌霄 |
| 地址： | 213031 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 太陽能電池 鏈式 濕法 刻蝕 設備 蓋板 | ||
【權利要求書】：
1.一種太陽能電池鏈式濕法刻蝕設備的刻蝕槽蓋板，其特征是：所述的刻蝕槽蓋板(1)為弧形，蓋板中部高，四周低。
2.根據權利要求1所述的太陽能電池鏈式濕法刻蝕設備的刻蝕槽蓋板，其特征是：所述的刻蝕槽蓋板(1)的一端與刻蝕槽(2)通過鉸鏈連接，在鉸接處的相對側上設置把手(3)。
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