[實用新型]非晶硅薄膜等離子體增強化學氣相沉積設備

有效

• 申請號: 201020540460.0
• 申請日: 2010-09-25
• 公開（公告）號: CN201801589U
• 公開（公告）日: 2011-04-20
• 發明（設計）人: 陳五奎;李文江;任陳平;劉強;黃振華
• 申請（專利權）人: 深圳市拓日新能源科技股份有限公司
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44;C23C16/24
• 代理公司: 深圳中一專利商標事務所 44237
• 代理人: 張全文

1.一種非晶硅薄膜等離子體增強化學氣相沉積設備，包括一等離子腔體、加熱系統、氣路系統、真空系統、供電系統、夾具，其特征在于：所述等離子腔體為可密閉的圓筒形單腔室，與真空系統及氣路系統相連，所述夾具置于所述等離子腔體內，所述加熱系統為一設有加熱器的油箱，設置于所述等離子腔體下方，所述供電系統由多個控制單元組成，所述夾具上設有多個供電端口，該多個控制單元分別與該多個供電端口一一對應相連接。

2.根據權利要求1所述的非晶硅薄膜等離子體增強化學氣相沉積設備，其特征在于：所述夾具包括由兩側板、一前擋板和一后蓋構成的金屬外殼，所述金屬外殼圍合形成的腔體內設有一氣路板、復數個電極，所述兩側板、前擋板、后蓋、氣路板相互兩兩絕緣連接，所述復數個電極由多個導電平板排列而成，與所述兩側板平行，且與所述兩側板共同構成電極，相鄰兩電極之間的空間為放置待沉積電池基板的位置，所述氣路板上具有均勻分布的通孔，于所述前擋板上，設有多個可采用非干擾式供電的電極端口。

3.根據權利要求1或2所述的非晶硅薄膜等離子體增強化學氣相沉積設備，其特征在于：在所述等離子腔體的側面配合設置一腔門，所述腔門與所述等離子腔體之間設有互鎖裝置。

4.根據權利要求2所述的非晶硅薄膜等離子體增強化學氣相沉積設備，其特征在于：所述夾具的電極兩個一組與所述供電端口分別單獨聯接。

5.根據權利要求1或2或4任一項所述的非晶硅薄膜等離子體增強化學氣相沉積設備，其特征在于：所述等離子腔體內靠底部位置在腔室的長度方向上設有導軌，所述夾具的底部設置有復數個車輪，并與所述導軌相配合。

6.根據權利要求3所述的非晶硅薄膜等離子體增強化學氣相沉積設備，其特征在于：所述等離子腔體內靠底部位置在腔室的長度方向上設有導軌，所述夾具的底部設有復數個車輪，并與所述導軌相配合。