[實用新型]一種涂膠顯影機臺有效
| 申請號： | 201020539780.4 | 申請日： | 2010-09-21 |
| 公開（公告）號： | CN201765433U | 公開（公告）日： | 2011-03-16 |
| 發明（設計）人： | 魯旭光;陳曉琪;胡清強;王波 | 申請（專利權）人： | 和艦科技(蘇州)有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/16 | 分類號： | G03F7/16;G03F7/26;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京連和連知識產權代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光輝 |
| 地址： | 215025 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 涂膠 顯影 機臺 | ||
【權利要求書】：
1.一種涂膠顯影機臺，包含光阻容器，所述光阻容器上設置有輸入管路、輸出管路和排空管路，所述輸入管路和輸出管路上分別設置有檢測管路內是否有氣泡的輸入端傳感器和輸出端傳感器，其特征在于，
所述排空管路上設置有用于檢測排空管路內是否有氣泡的排空端傳感器。
2.根據權利要求1所述的涂膠顯影機臺，其特征在于，還包含與門電路，所述與門電路的輸入端分別與所述輸入端傳感器、排空端傳感器相連，所述與門電路的輸出端與所述涂膠顯影機臺的報警裝置相連。
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