[實用新型]一種低濃度氣體的快速動態配制裝置

有效

• 申請號: 201020538864.6
• 申請日: 2010-09-21
• 公開（公告）號: CN201791486U
• 公開（公告）日: 2011-04-13
• 發明（設計）人: 柴立元;舒余德;吳宇;楊志輝;彭兵;閔小波;王海鷹;楊衛春
• 申請（專利權）人: 中南大學
• 主分類號: B01F5/02
• 分類號: B01F5/02;B01F3/02;B01F15/04
• 代理公司: 長沙市融智專利事務所 43114
• 代理人: 顏勇

技術領域

本實用新型涉及一種低濃度氣體的快速動態配制裝置。

背景技術

目前，常用的配氣方法包括靜態配氣法和動態配氣法兩種方法。靜態配氣法不能連續供氣，每次配制氣體量有限，一般用于間歇反應實驗研究。動態配氣法主要有滲透式動態配氣、擴散法動態配氣、定體積法動態配氣。自動配氣裝置(CN2702918Y)提供了一種采用質量控制原理和可編程控制器原理的配氣裝置，該系統能精密快速的調節各個混合氣體的比例，可智能操作，穩定性強，但該系統原料氣要求是低濃度的氣體，而且系統復雜，成本高。一種低濃度氣體的配制裝置及配制方法(CN?101352660A)提供了一種采用擴散稀釋式動態配氣法的低濃度氣體配制裝置，具有成本低、操作簡單、耗氣量小、配氣穩定的特點，但只適用于具有揮發或升華擴散特性且高沸點(常溫液態)的氣體。

實用新型內容

為了解決現有配氣裝置及方法系統復雜、成本高，或是能夠配制的氣體的種類有限的缺點。本實用新型提供一種適用范圍廣，操作簡單，安全高效，運行成本低的低濃度氣體的快速動態配制裝置。

為了實現上述技術效果，本實用新型的技術方案是：一種低濃度氣體的快速動態配制裝置，其包括載氣輸出裝置、流量控制器、射流器、儲液罐、儲氣罐、第一蠕動泵、第二蠕動泵和用于連接各器件的氣密管道，所述的載氣輸出裝置和流量控制器依次通過氣密管道連接后再連接至射流器的載氣輸入端，所述的儲液罐、第一蠕動泵、儲氣罐和第二蠕動泵通過氣密管道依次連接后再連接至射流器的原料氣輸入端。

上述的一種低濃度氣體的快速動態配制裝置，其所述的第一蠕動泵的轉速為2～80r/min，所述的第二蠕動泵的轉速為0.1～10r/min。

上述的一種低濃度氣體的快速動態配制裝置，其還包括一U型壓力計，所述的U型壓力計安裝于儲氣罐上并用于測量儲氣罐內的壓力。

上述的一種低濃度氣體的快速動態配制裝置，其還包括一單向閥，所述的單向閥的進氣端和出氣端分別通過氣密管道連接至第二蠕動泵和射流器的原料氣輸入端。

上述的一種低濃度氣體的快速動態配制裝置，其還包括一二通閥，所述的二通閥的一端連接儲液罐，另一端連接儲氣罐。

上述的一種低濃度氣體的快速動態配制裝置，其所述的射流器為采用對氣體惰性且非吸附性材料制成，如：玻璃、石英、不銹鋼、銅或黃銅等。

上述的一種低濃度氣體的快速動態配制裝置，其所述的單向閥為采用對氣體惰性且非吸附性材料制成，如：玻璃、石英、不銹鋼、銅或黃銅等。

上述的一種低濃度氣體的快速動態配制裝置，其所述的射流器的載氣輸入端的內徑為3-8mm，所述的原料氣輸入端的內徑為2-6mm，出氣口的內徑為4-20mm。

根據需配制氣體的組分種數，設置相應數目的儲液罐、儲氣罐和蠕動泵組，數量為1～5個。

本實用新型的技術效果在于，通過兩個蠕動泵對氣壓和氣體流速先進行粗調后再進行微調，能穩定的對氣體進行調配，適用范圍廣，可用高純度的原料氣體配制低濃度氣體，最低配氣體濃度可小于100ppm，特別適合低濃度氣體的長時間供氣。系統運行穩定，操作簡單，安全高效，運行成本低。采用射流器和混合管混合氣體，具有混合均勻和氣體濃度穩定速度快的特點，10分鐘就可以達到穩定。

下面結合附圖對本實用新型作進一步說明。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖。

圖中1-載氣輸出裝置；2-流量控制器；3-儲液罐；4-儲氣罐；5-第一蠕動泵；6-第二蠕動泵；7-射流器，8-U型壓力計；9-單向閥；10-二通閥。

具體實施方式

下面結合實施方式和實施例進一步說明本發明，而非限制本發明。

本實用新型的低濃度氣體的快速動態配制裝置，包括載氣輸出裝置1、流量控制器2、射流器7、儲液罐3、儲氣罐4、第一蠕動泵5、第二蠕動泵6和用于連接各器件的氣密管道，載氣輸出裝置1和流量控制器2依次通過氣密管道連接后再連接至射流器7的載氣輸入端。儲液罐3、第一蠕動泵5、儲氣罐4和第二蠕動泵6通過氣密管道依次連接后再連接至射流器7的原料氣輸入端。一U型壓力計8安裝于儲氣罐4上并用于測量儲氣罐4內的壓力。一單向閥9的進氣端和出氣端分別通過氣密管道連接至第二蠕動泵6和射流器7的原料氣輸入端。一二通閥10的一端連接儲液罐3，另一端連接儲氣罐4。

實施例1

應用圖1裝置配制低濃度SO₂：