[實用新型]一種低濃度氣體的快速動態配制裝置

有效

• 申請號: 201020538864.6
• 申請日: 2010-09-21
• 公開（公告）號: CN201791486U
• 公開（公告）日: 2011-04-13
• 發明（設計）人: 柴立元;舒余德;吳宇;楊志輝;彭兵;閔小波;王海鷹;楊衛春
• 申請（專利權）人: 中南大學
• 主分類號: B01F5/02
• 分類號: B01F5/02;B01F3/02;B01F15/04
• 代理公司: 長沙市融智專利事務所 43114
• 代理人: 顏勇

1.一種低濃度氣體的快速動態配制裝置，其特征在于，包括載氣輸出裝置、流量控制器、射流器、儲液罐、儲氣罐、第一蠕動泵、第二蠕動泵和用于連接各器件的氣密管道，所述的載氣輸出裝置和流量控制器依次通過氣密管道連接后再連接至射流器的載氣輸入端，所述的儲液罐、第一蠕動泵、儲氣罐和第二蠕動泵通過氣密管道依次連接后再連接至射流器的原料氣輸入端。

2.根據權利要求1所述的一種低濃度氣體的快速動態配制裝置，其特征在于，所述的第一蠕動泵的轉速為2～80r/min，所述的第二蠕動泵的轉速為0.1～10r/min。

3.根據權利要求1或2所述的一種低濃度氣體的快速動態配制裝置，其特征在于，還包括一U型壓力計，所述的U型壓力計安裝于儲氣罐上并用于測量儲氣罐內的壓力。

4.根據權利要求1或2所述的一種低濃度氣體的快速動態配制裝置，其特征在于，還包括一單向閥，所述的單向閥的進氣端和出氣端分別通過氣密管道連接至第二蠕動泵和射流器的原料氣輸入端。

5.根據權利要求1或2所述的一種低濃度氣體的快速動態配制裝置，其特征在于，還包括一個二通閥，所述的二通閥的一端連接儲液罐，另一端連接儲氣罐。

6.根據權利要求1或2所述的一種低濃度氣體的快速動態配制裝置，其特征在于，所述的射流器為采用對氣體惰性且非吸附性材料制成。

7.根據權利要求4所述的一種低濃度氣體的快速動態配制裝置，其特征在于，所述的單向閥為采用對氣體惰性且非吸附性材料制成。

8.根據權利要求1或2所述的一種低濃度氣體的快速動態配制裝置，其特征在于，所述的射流器的載氣輸入端的內徑為3-8mm，所述的原料氣輸入端的內徑為2-6mm，出氣口的內徑為4-20mm。