[實用新型]磁控濺射工作箱箱體聯接法蘭盤

無效

• 申請號: 201020533852.4
• 申請日: 2010-09-14
• 公開（公告）號: CN201801581U
• 公開（公告）日: 2011-04-20
• 發明（設計）人: 孟飛;彭為報;房如楓;劉海;葛懷慶
• 申請（專利權）人: 普樂新能源(蚌埠)有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;F16B5/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及磁控濺射設備中用于使多段箱體聯接的法拉盤。

背景技術

大型真空磁控濺射設備具有的工作箱為多段箱體相互聯接構成，每兩只相鄰箱體之間的聯接方式是：在兩箱體的一端各連接一法蘭盤，兩法蘭盤相互聯接。為確保工作箱在工作狀態時的真空度，必須保證兩相聯法蘭盤的聯接處有較好的密封，否則將影響工作箱內的真空度，從而影響所鍍產品的薄膜質量。現有的一種箱體聯接法蘭盤的結構為：盤體的中部開有通孔，盤體的外端面上設有依次圍在通孔外側的第一內環圈、第二內環圈，兩內環圈之間形成有充填密封圈的環形槽。這種法蘭盤在相互聯接時，彼此的第一內環圈、第二內環圈相對貼靠，且在環形槽內充填有密封圈。這種聯接法蘭盤存在的欠缺是：在各箱體的聯接安裝過程中，每對相聯法蘭盤之間聯接處的密封性不能及時檢測，每對法蘭盤連接面的密封情況，需要在整個設備的主輔部件安裝完畢后，在設備試車時才能檢漏。一旦工作箱體的連接部位有漏氣現象，就需要把設備一一拆除，重新檢查、安裝，由此造成很多勞動的浪費，另外，重新檢查、安裝，增加了設備的磕碰機會和材料的浪費，對設備會有一定程度的損傷，且過程麻煩，并會影響安裝工期。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種磁控濺射工作箱箱體聯接法蘭盤，每兩只相鄰的箱體由該法蘭盤完成相互聯接后，可及時的檢查聯接處的密封性。

為實現上述目的，本實用新型采用以下方案：磁控濺射工作箱箱體聯接法蘭盤，盤體的中部開有通孔，盤體的外端面上設有依次圍在通孔外側的第一內環圈、第二內環圈，兩內環圈之間形成有充填密封圈的第一環形槽，在兩內環圈的外側還依次圍繞有第一外環圈、第二外環圈，兩道外環圈之間形成有充填密封圈的第二環形槽，盤體上處在相鄰的第二內環圈與第一外環圈之間的區域處開有一通孔。

由上述方案可見，每兩只相鄰的箱體的一端連接本實用新型提供的法蘭盤后，再將兩箱體一端的法蘭盤聯接時，使彼此的第一內環圈、第二內環圈、第一外環圈、第二外環圈相對，且在第一環形槽內及第二環形槽充填密封圈后，通過連接件使兩法蘭盤緊固聯接，完成相互聯接后，即可使用檢漏設備通過通孔檢查第二內環圈與第一外環圈之間空間的密封性，通過檢查，若發現該空間的密封性不佳，可立刻拆除，重新處理，然后再重新安裝測試；通過檢查，若該空間的密封性良好，則說明兩法蘭盤間的聯接密封良好。

本實用新型結構合理、可靠，它可實現及時對聯接處的密封性進行檢查，避免設備安裝完畢后發現密封問題再返工，同時也減少了設備的磕碰機會和材料的浪費，并對安裝工期的保證有極大的促進作用。

附圖說明

圖1本實用新型一實施例的結構圖；

圖2圖1的A-A剖視圖；

圖3圖1的B-B剖視圖；

圖4本實用新型的使用狀態示意圖。

具體實施方式

以下結合實施例及附圖進一步說明本實用新型。

參見圖1、圖2、圖3

本實用新型提供的磁控濺射工作箱箱體聯接法蘭盤的盤體1中部開有通孔1c，盤體1的外端面上設有依次圍在通孔1c外側的第一內環圈7、第二內環圈5，兩內環圈之間形成有充填密封圈的第一環形槽6，在兩內環圈的外側還依次圍繞有第一外環圈3、第二外環圈2，兩道外環圈之間形成有充填密封圈的第二環形槽4，盤體1上處在相鄰的第二內環圈5與第一外環圈3之間的區域處開有一通孔1b。另外，由圖1可見，在盤體1的周邊開有均布的安裝孔1a。

參見圖2

在盤體1的內端面上連接有一與通孔1b相通的接管8。

結合圖2、圖4

每兩只相鄰的箱體12的一端連接本實用新型提供的法蘭盤后，再將兩法蘭盤的第一內環圈7、第二內環圈5、第一外環圈3、第二外環圈2相對，且在第一環形槽內及第二環形槽內分別充填密封圈10、填密封圈9后，通過連接件11穿過連接孔1a，即可使兩法蘭盤緊固聯接。完成相互聯接后，使用檢漏設備通過接管8即可檢查第二內環圈與第一外環圈之間空間的密封性。