[實用新型]磁控濺射工作箱箱體聯接法蘭盤

無效

• 申請號: 201020533852.4
• 申請日: 2010-09-14
• 公開（公告）號: CN201801581U
• 公開（公告）日: 2011-04-20
• 發明（設計）人: 孟飛;彭為報;房如楓;劉海;葛懷慶
• 申請（專利權）人: 普樂新能源(蚌埠)有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;F16B5/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.磁控濺射工作箱箱體聯接法蘭盤，盤體的中部開有通孔，盤體的外端面上設有依次圍在通孔外側的第一內環圈、第二內環圈，兩內環圈之間形成有充填密封圈的第一環形槽，其特征在于：在兩內環圈的外側還依次圍繞有第一外環圈、第二外環圈，兩道外環圈之間形成有充填密封圈的第二環形槽，盤體上處在相鄰的第二內環圈與第一外環圈之間的區域處開有一通孔。

2.根據權利要求1所述的磁控濺射工作箱箱體聯接法蘭盤，其特征在于：在盤體的內端面上連接有一與通孔相通的接管。