[實(shí)用新型]單晶硅切割用砂漿冷卻系統(tǒng)

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201020525723.0
• 申請日: 2010-09-13
• 公開（公告）號: CN201837274U
• 公開（公告）日: 2011-05-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳榮興
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇創(chuàng)大光伏科技有限公司
• 主分類號: F28D7/00
• 分類號: F28D7/00
• 代理公司: 常州市維益專利事務(wù)所 32211
• 代理人: 何學(xué)成

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于單晶硅切片技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種改良的單晶硅切割用砂漿冷卻系統(tǒng)。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體行業(yè)和太陽能行業(yè)，硅棒加工成硅片多使用多線切割機(jī)，多線切割機(jī)的切割線實(shí)用表面鍍銅的不銹鋼絲，在切割過程中切割砂漿由噴嘴沿著鋼絲流動(dòng)，通過鋼絲將切割砂漿帶入切割區(qū)域，鋼絲表面的游離的切割砂漿在鋼絲的壓力和速度的帶動(dòng)下對硅棒進(jìn)行切割。切割后的切割砂漿流入到砂漿桶內(nèi)進(jìn)行再循環(huán)實(shí)用。切割過程中會(huì)產(chǎn)生大量的熱量，切削后的切割砂漿溫度身高，在硅片切割過程中對切割砂漿的溫度有嚴(yán)格要求，因此切割砂漿必須進(jìn)行冷卻后再循環(huán)使用，由于切割砂漿的粘度大，散熱比較的慢，冷卻后常常無法達(dá)到規(guī)定的使用溫度，從而影響了產(chǎn)品的質(zhì)量，且以前采用的板式換熱器，換熱速度較慢，冷卻的切割砂漿無法滿足生產(chǎn)的需要，且板式換熱器容易存在死角，不容易清理，長時(shí)間堆積就會(huì)產(chǎn)生大顆粒，大顆粒進(jìn)入切割加工過程，就會(huì)影響產(chǎn)品的質(zhì)量。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型設(shè)計(jì)了一種冷卻段較長，冷卻速度塊的，容易清洗且能對冷卻腔的溫度進(jìn)行檢測的單晶硅切割用砂漿冷卻系統(tǒng)。

本實(shí)用新型通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)：

單晶硅切割用砂漿冷卻系統(tǒng)，其包括殼體，殼體的內(nèi)部被分隔成三個(gè)腔體，為進(jìn)漿腔、出漿腔和冷卻腔，在殼體的下端設(shè)有進(jìn)漿口和出漿口，進(jìn)水口設(shè)置在殼體側(cè)面的頂部，出水口設(shè)置在殼體側(cè)面的底部，其特征在于：在冷卻腔內(nèi)設(shè)有多路連接進(jìn)漿腔和出漿腔的管路。

在殼體的外部設(shè)置有保溫夾套。

所述的殼體上還設(shè)有對冷卻腔溫度檢測的傳感裝置。

本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于：

1、其冷卻的管路的長度長，能達(dá)到一個(gè)較好的冷卻效果，其次多個(gè)管路同時(shí)進(jìn)行冷卻，速度較快，能及時(shí)的滿足生產(chǎn)的需要，

2、管路式冷卻系統(tǒng)設(shè)計(jì)，便于對冷卻管路的清洗，

3、殼體外設(shè)置保溫夾套，防止外界溫度影響冷卻系統(tǒng)的冷卻效果，

4、設(shè)置的溫度檢測的傳感裝置，便于時(shí)刻檢測冷卻腔的溫度，及時(shí)的調(diào)節(jié)冷卻水的流速。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖，

圖中1為進(jìn)水口，2為傳感裝置，3為管路，4為出漿腔，5為出漿口，6為進(jìn)漿口，7為進(jìn)漿腔，8為出水口，9為殼體，10為保溫夾套，11為冷卻腔。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對本實(shí)用新型做進(jìn)一步說明：

如圖1所示的單晶硅切割用砂漿冷卻系統(tǒng)，其包括殼體10，殼體10的內(nèi)部被分隔成三個(gè)腔體，為進(jìn)漿腔7、出漿腔4和冷卻腔11，在殼體10的下端設(shè)有進(jìn)漿口6和出漿口5，進(jìn)水口1設(shè)置在殼體10側(cè)面的頂部，出水口8設(shè)置在殼體10側(cè)面的底部，冷卻水從進(jìn)水口1進(jìn)入在冷卻腔11內(nèi)循環(huán)后從出水口8流出，在冷卻腔11內(nèi)設(shè)有多路連接進(jìn)漿腔7和出漿腔4的管路3，設(shè)置的多路管路保證了砂漿與冷卻水的接觸面積，使其具有較好的冷卻效果。

在殼體的外部設(shè)置有保溫夾套，設(shè)置的保溫夾套能防止外界的室溫對冷卻效果的影響，保證了冷卻的質(zhì)量。

所述的殼體上還設(shè)有對冷卻腔溫度檢測的傳感裝置，設(shè)置的溫度檢測傳感裝置便于人們時(shí)刻觀測砂漿冷卻的狀況。

本實(shí)用新型設(shè)計(jì)了一種具有較長冷卻行程和冷卻量的砂漿冷卻系統(tǒng)，以及較大的接觸面積，保證了較快的冷卻速度和冷卻的砂漿的量，滿足了較快的生產(chǎn)需要，冷卻循環(huán)采用管路設(shè)計(jì)，便于對管路的清潔，在整個(gè)冷卻系統(tǒng)的外面包裹的保溫夾套能防止外界室溫對冷卻效果產(chǎn)生影響，另外設(shè)置的溫度檢測傳感裝置，便于人們實(shí)時(shí)的檢測冷卻腔的溫度，當(dāng)發(fā)現(xiàn)溫度異常時(shí)，能及時(shí)的調(diào)整冷卻水的進(jìn)水速度來保證冷卻質(zhì)量。