[實用新型]一種半導體晶片單面拋光機用拋光盤無效
| 申請號： | 201020521325.1 | 申請日： | 2010-09-08 |
| 公開（公告）號： | CN201807976U | 公開（公告）日： | 2011-04-27 |
| 發明（設計）人： | 王永成;趙呈龍 | 申請（專利權）人： | 上海致聯國際貿易有限公司 |
| 主分類號： | B24D7/02 | 分類號： | B24D7/02 |
| 代理公司： | 上海浦東良風專利代理有限責任公司 31113 | 代理人： | 陳志良 |
| 地址： | 200131 上海市浦東*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 半導體 晶片 單面 拋光機 拋光 | ||
【權利要求書】：
1.一種半導體晶片單面拋光機用拋光盤，包括用于安裝拋光盤的拋光機主軸承基座，其特征在于：所述的拋光盤為大理石材質的拋光盤，拋光盤直接安裝在拋光機主軸承基座上。
2.根據權利要求?1?所述的一種半導體晶片單面拋光機用拋光盤，其特征在于：所述的拋光盤為大理石材質，拋光盤表面研磨平整，采用螺栓固定于拋光機主軸承基座上。
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