[實用新型]一種傳送部件

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201020516401.X
• 申請日: 2010-09-03
• 公開（公告）號: CN201946579U
• 公開（公告）日: 2011-08-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳雄博;王昕昕
• 申請（專利權(quán)）人: 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種傳送部件，用于CVD制造機臺的晶片傳輸，包括加熱底盤、陶瓷環(huán)、氣缸以及多個陶瓷釘，所述加熱底盤上均勻地設(shè)有多個孔，所述多個陶瓷釘分別穿過所述多個孔立放在所述陶瓷環(huán)上，所述氣缸上設(shè)有金屬桿，其特征在于，所述金屬桿與所述陶瓷環(huán)通過內(nèi)六角螺絲及內(nèi)六角螺母固定，所述內(nèi)六角螺絲穿通所述金屬桿與所述陶瓷環(huán)，并且所述內(nèi)六角螺絲與所述內(nèi)六角螺母的裸露部分罩有陶瓷蓋。

2.如權(quán)利要求1所述的傳送部件，其特征在于，所述陶瓷環(huán)包括支撐部件及固定在所述支撐部件上的軸套，所述軸套上設(shè)有通孔，所述金屬桿插入所述通孔內(nèi)，所述金屬桿的側(cè)面與所述軸套的側(cè)面通過所述內(nèi)六角螺絲及所述內(nèi)六角螺母固定，所述內(nèi)六角螺絲穿通所述金屬桿與所述軸套。

3.如權(quán)利要求2所述的傳送部件，其特征在于，所述陶瓷蓋包括第一部件及第二部件，所述第一部件包括第一底座以及與所述第一底座固定的第一圓環(huán)柱體結(jié)構(gòu)，所述第一圓環(huán)柱體結(jié)構(gòu)的內(nèi)壁上開有多個凹槽，所述第一圓環(huán)柱體結(jié)構(gòu)的側(cè)面對稱地設(shè)有第一開口，所述第一開口的尾部為第一半圓形結(jié)構(gòu)；所述第二部件包括第二底座以及與所述第二底座固定的第二圓環(huán)柱體結(jié)構(gòu)，所述第二圓環(huán)柱體結(jié)構(gòu)的外壁上設(shè)有多個凸塊，所述第二圓環(huán)柱體結(jié)構(gòu)的側(cè)面對稱地設(shè)有第二開口，所述第二開口的尾部為第二半圓形結(jié)構(gòu)；其中，所述凹槽與所述凸塊相匹配。

4.如權(quán)利要求3所述的傳送部件，其特征在于，所述第一圓環(huán)柱體結(jié)構(gòu)的內(nèi)徑大于所述第二圓環(huán)柱體結(jié)構(gòu)的外徑，且所述第二圓環(huán)柱體結(jié)構(gòu)的外徑與所述凸塊的寬度之和大于所述第一圓環(huán)柱體結(jié)構(gòu)的內(nèi)徑，同時小于所述第一圓環(huán)柱體結(jié)構(gòu)的內(nèi)徑與所凹槽的深度之和。

5.如權(quán)利要求3所述的傳送部件，其特征在于，所述第一圓環(huán)柱體結(jié)構(gòu)的內(nèi)徑大于所述內(nèi)六角螺絲的螺帽的直徑，所述第二圓環(huán)柱體結(jié)構(gòu)的內(nèi)徑大于所述內(nèi)六角螺母的直徑。

6.如權(quán)利要求3所述的傳送部件，其特征在于，所述第一半圓形結(jié)構(gòu)的直徑與所述第二半圓形結(jié)構(gòu)的直徑相等，且所述第一半圓形結(jié)構(gòu)的直徑大于所述軸套的直徑。

7.如權(quán)利要求1所述的傳送部件，其特征在于，所述孔的數(shù)量為四個，所述陶瓷釘?shù)臄?shù)量為四個。