[實用新型]一種用于三氯氫硅合成、過濾和硅粉回收的合成爐

無效

• 申請號: 201020509725.0
• 申請日: 2010-08-30
• 公開（公告）號: CN201785202U
• 公開（公告）日: 2011-04-06
• 發明（設計）人: 吳琳;周樹云;李柱全
• 申請（專利權）人: 吳琳
• 主分類號: C01B33/107
• 分類號: C01B33/107;B01D46/24
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及一種三氯氫硅合成爐，具體是指一種用于三氯氫硅合成、過濾和硅粉回收的合成爐。

背景技術

目前，在用三氯氫硅合成爐制備三氯氫硅的過程中，都必須通過布袋除塵器對已經制備的三氯氫硅氣體進行過濾、對剩余的硅粉進行回收，以確保所制成的三氯氫硅的質量。然而，在實際的應用中，由于這些布袋除塵器均是直接與三氯氫硅合成爐上的管道相連接的，加之這些布袋除塵器均是由玻璃絲布或玻璃棉氈等材料制備而成，因此這些三氯氫硅合成爐在使用時還存在以下諸多缺陷：首先，由于這些玻璃絲布或玻璃棉氈等材料的耐高溫性能差、易破損，因此在使用時存在糊袋問題，需要大量頻繁地更換布袋除塵器，從而消耗大量的財力，甚至還會引起停車停產。其次，隨著使用時間的增長，該布袋除塵器的過濾功能也會逐漸失效，此時若有大量的硅粉進入后續工藝，則不僅會浪費有價粉塵，而且其尾氣中含有的微量氯硅烷容易與氯化氫中的水反應生成固體二氧化硅而堵塞管道，會嚴重的影響生產的順利進行和三氯氫硅的回收率。最后，由于在使用布袋除塵器過濾時一般需要配置10個左右的布袋除塵器，因此其能耗非常大，造價成本較高，加之在頻繁的拆換網袋的過程中有大量的氣體外泄，會造成嚴重的環境污染。

綜上所述，目前所使用的三氯氫硅合成爐的性能較差，能耗較高，不能滿足現在人們的使用需求。

實用新型內容

本實用新型的目的在于克服目前使用三氯氫硅合成爐時需要頻繁更換布袋除塵器、其過濾和硅粉回收性能較差，極易造成環境污染的缺陷，提供一種不僅結構簡單、不需要頻繁更換布袋除塵器、而且過濾和回收性能較強，不會造成環境污染的一種用于三氯氫硅合成、過濾和硅粉回收的合成爐。

本實用新型的目的通過下述技術方案實現：一種用于三氯氫硅合成、過濾和硅粉回收的合成爐，主要由內部設有爐腔的爐體組成，同時，在該爐腔的內部設有過濾裝置，在該爐體上還設有與該爐腔相連通的反吹口。

進一步地，所述的過濾裝置由固定在爐腔內部的孔板、設置在孔板上端面的文氏管、以及設置在孔板下端面并與文氏管相連通的數量為一個以上的濾管構成。

為了確保使用效果，所述的濾管優先采用耐高溫、大通量的金屬粉末過濾管，且所述的文氏管與反吹口的數量和位置均一一對應，每個反吹口均位于與之相對應的文氏管的正上方。

考慮到實際的使用需求，所述的文氏管和反吹口的數量均為一個以上，且每個文氏管的入口與之相對應的反吹口的出口之間留有氣流間隙。

同時，在爐體上還設有與爐腔相連通的防爆口。

本實用新型較現有技術相比，具有以下優點及有益效果：

(1)本實用新型用過濾裝置取代了現有合成爐后面的布袋除塵器，不僅有效的克服了傳統布袋除塵器的糊袋問題，而且還能避免頻繁地更換布袋除塵器而消耗的大量財力和人力，從而極大的提高了生產效率。

(2)由于在實際制備過程中的硅粉太細，傳統的布袋除塵器根本不能有效的對該硅粉進行回收。而本實用新型的過濾裝置由孔板、文氏管和耐高溫的金屬粉沫過濾管共同組成，因此能有效的將該硅粉進行回收利用，進而延長了設備的使用壽命。

(3)本實用新型還省掉了傳統合成器中的沉降器、旋風分離器、網袋過濾器等設備，因此極大的縮短了工藝流程，簡化了結構設備，降低了制作成本。

附圖說明

圖1為本實用新型的整體剖面結構示意圖。

其中，附圖中的附圖標記的名稱為：

1-爐腔，2-爐體，3-過濾裝置，4-反吹口，5-文氏管，6-濾管，7-孔板，8-氣流間隙，9-防爆口。

具體實施方式

下面結合實施例對本實用新型作進一步地詳細說明，但本實用新型的實施方式不限于此。

實施例

如圖1所示，本實用新型的爐體2內部具有用于三氯氫硅氣體過濾和硅粉回收的爐腔1。傳統的布袋除塵器設置在該爐腔1的內部，并直接與爐體2上的相關管道相連接，而本實用新型則在該爐腔1的內部用過濾裝置3取代了該布袋除塵器。

如圖所示，該過濾裝置3由孔板7、文氏管5和濾管6共同組成。其中，孔板7通過法蘭固定在爐腔1的內部，進而將整個爐腔1分成上腔體和下腔體兩個部分。文氏管5固定在該孔板7的上端面，即位于該上腔體的內部，文氏管5的出氣口與孔板7的上端面相連接，其入氣口朝上并與爐腔1相連通。所述文氏管5的數量根據實際需要可以為一個，也可以為一個以上。為了確保最佳使用效果，該文氏管5的數量優先采用兩支。