[實用新型]一種用于三氯氫硅合成、過濾和硅粉回收的合成爐無效
| 申請號： | 201020509725.0 | 申請日： | 2010-08-30 |
| 公開（公告）號： | CN201785202U | 公開（公告）日： | 2011-04-06 |
| 發明（設計）人： | 吳琳;周樹云;李柱全 | 申請（專利權）人： | 吳琳 |
| 主分類號： | C01B33/107 | 分類號： | C01B33/107;B01D46/24 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 610000 四*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 三氯氫硅 合成 過濾 回收 | ||
1.一種用于三氯氫硅合成、過濾和硅粉回收的合成爐，主要由內部設有爐腔(1)的爐體(2)組成，其特征在于：在該爐腔(1)的內部設有過濾裝置(3)，同時在該爐體(2)上還設有與該爐腔(1)相連通的反吹口(4)。
2.根據權利要求1所述的一種用于三氯氫硅合成、過濾和硅粉回收的合成爐，其特征在于：所述的過濾裝置由固定在爐腔(1)內部的孔板(7)、設置在孔板(7)上端面的文氏管(5)、以及設置在孔板(7)下端面并與文氏管(5)相連通的濾管(6)構成。
3.根據權利要求2所述的一種用于三氯氫硅合成、過濾和硅粉回收的合成爐，其特征在于：所述的濾管(6)為耐高溫、大通量的金屬粉末過濾管。
4.根據權利要求2或3所述的一種用于三氯氫硅合成、過濾和硅粉回收的合成爐，其特征在于：所述的文氏管(5)與反吹口(4)的數量和位置均一一對應，且每個反吹口(4)均位于與之相對應的文氏管(5)的正上方。
5.根據權利要求4所述的一種用于三氯氫硅合成、過濾和硅粉回收的合成爐，其特征在于：所述的文氏管(5)和反吹口(4)的數量均為一個以上。
6.根據權利要求5所述的一種用于三氯氫硅合成、過濾和硅粉回收的合成爐，其特征在于：所述文氏管(5)的入口與反吹口(4)的出口之間留有氣流間隙(8)。
7.根據權利要求1、2、3、5或6所述的一種用于三氯氫硅合成、過濾和硅粉回收的合成爐，其特征在于：在爐體(2)上還設有與爐腔(1)相連通的防爆口(9)。
8.根據權利要求4所述的一種用于三氯氫硅合成、過濾和硅粉回收的合成爐，其特征在于：所述的濾管(6)的數量為一個以上。
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