[實用新型]硅片制絨專用承載裝置

無效

• 申請號: 201020504806.1
• 申請日: 2010-08-26
• 公開（公告）號: CN201788991U
• 公開（公告）日: 2011-04-06
• 發明（設計）人: 屈瑩;劉志剛
• 申請（專利權）人: 常州億晶光電科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18
• 代理公司: 常州市維益專利事務所 32211
• 代理人: 周祥生

1.一種硅片制絨專用承載裝置，它由左柵板(1)、右柵板(2)、前擋板(3)和后擋板(4)圍合而成，在左柵板(1)和右柵板(2)的上端對稱地安裝有上托架(5)，在左柵板(1)和右柵板(2)的內側面的下端固定有下托架(6)；左柵板(1)與右柵板(2)的結構相同，在右柵板(2)的內側壁上豎直地開設有硅片插槽(7)，在上托架(5)和下托架(6)上都設有硅片插槽(7)，且上托架(5)和下托架(6)上設有的硅片插槽(7)與柵板上設有的硅片插槽(7)相對應，其特征是，所述柵板由上框桿(21)、左側桿(22)、右側桿(23)、隔槽板(24)和下框桿(25)組成，上框桿21、左側桿22、右側桿23和下框桿(25)牢固地連接成一個柵板框，隔槽板(24)平行于左側桿(22)和右側桿(23)，并分布在柵板框內，在柵板上形成等間距豎直分布硅片插槽(7)；在左側桿(22)、右側桿(23)和隔槽板(24)上都設有透液孔(26)，沿高度方向設有硅片限位桿孔(27)，在硅片限位桿孔(27)中穿插有限位桿(8)。

2.根據權利要求1所述硅片制絨專用承載裝置，其特征是：在每個硅片插槽(7)中至少設有一只彈性壓片(9)，彈性壓片(9)套裝在限位桿(8)上，在硅片插槽(7)中插有硅片時，彈性壓片(9)能壓迫硅片的側面。