[實用新型]晶體硅材料的深冷處理裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201020293127.4
• 申請日: 2010-08-13
• 公開（公告）號: CN201764768U
• 公開（公告）日: 2011-03-16
• 發(fā)明（設計）人: 王士元
• 申請（專利權）人: 英利能源(中國)有限公司
• 主分類號: F25D3/10
• 分類號: F25D3/10;H01L31/18
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權代理有限公司 11227
• 代理人: 逯長明

技術領域

本實用新型涉及深冷處理技術領域，更具體地說，涉及一種晶體硅材料的深冷處理裝置。

背景技術

隨著常規(guī)能源的有限性及環(huán)保壓力的增加，諸多國家掀起了開發(fā)和利用新能源的熱潮，其中，太陽能作為一種可再生清潔能源在全球范圍內(nèi)得到快速的發(fā)展，因此光伏組件得到了大范圍應用。隨著光伏組件的大規(guī)模生產(chǎn)，光伏組件也暴露出一些缺點，作為如光伏組件的轉換效率低等，世界各國光伏技術人員紛紛投入大批技術力量對此進行研究改進。目前，作為光伏電池的制備原料，晶體硅材料的硬度和耐磨性較差，使用壽命較短，同時，奧氏體的高脆性造成加工后的晶體硅材料的易碎裂，使太陽能電池片的抗隱裂性較差和表面硬度較低。

目前，深冷處理技術在工業(yè)生產(chǎn)中得到了廣泛的應用。將晶體硅材料進行深冷處理，可以改善晶體硅材料的性能?，F(xiàn)有技術中，晶體硅材料的深冷處理裝置以液氮為冷源，通過不斷向深冷處理裝置的工件倉中通入液氮，達到深冷處理的目的。但是，該深冷處理裝置對液氮消耗較大，造成了能源浪費。

實用新型內(nèi)容

有鑒于此，本實用新型要解決的技術問題在于提供一種晶體硅材料的深冷處理裝置，利用本實用新型提供的深冷處理裝置進行深冷處理，液氮消耗量小，節(jié)約能源。

本實用新型提供一種晶體硅材料的深冷處理裝置，包括：

工件倉；

設置于工件倉外部的液氮倉；

與液氮倉相連的非接觸式循環(huán)泵；

與工件倉相連的真空度表和溫度傳感器。

優(yōu)選的，還包括：

設置于所述液氮倉下方的支架。

優(yōu)選的，還包括：

與液氮倉相連的液氮壓力表。

優(yōu)選的，所述工件倉為長方體。

優(yōu)選的，所述液氮倉為長方體。

優(yōu)選的，所述溫度傳感器為一個。

優(yōu)選的，所述真空度表為一個。

從上述的技術方案可以看出，本實用新型提供一種晶體硅材料的深冷處理裝置，包括：工件倉；設置于工件倉外部的液氮倉；與液氮倉相連的非接觸式循環(huán)泵；與工件倉相連的真空度表和溫度傳感器。本實用新型通過工件倉外部的液氮倉，保證了工件倉可以實現(xiàn)在低溫下工作；通過與工件倉相連的真空度表和溫度傳感器，能夠監(jiān)測深冷處理過程中工件倉中的溫度和真空度，保證了深冷處理能夠正常運行；并且，通過與液氮倉相連的非接觸式循環(huán)泵，使液氮倉中的液氮能夠循環(huán)使用，無需向空氣中排放液氮，從而降低了能源的消耗并保護了環(huán)境，成本低。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術中的技術方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本實用新型實施例公開的晶體硅材料的深冷處理裝置示意圖。

具體實施方式

下面對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├?，本領域普通技術人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。

本實用新型提供一種晶體硅材料的深冷處理裝置，如圖1所示，包括：工件倉1、液氮倉2、非接觸式循環(huán)泵3、真空度表4、溫度傳感器5、液氮壓力表6和支架7。

工件倉1可以為長方體，還可以為正方體或其他形狀，能夠達到存在工件的作用即可。在工件倉1的外部設置有液氮倉2，液氮倉2中的液氮能夠達到低溫的效果，從而使工件倉中的工件實現(xiàn)深冷處理的目的。對于液氮倉2德形狀并無特別限制，可以為長方體、正方體或其他形狀，能夠達到存放液氮并與工件倉充分接觸的目的即可。

在液氮倉2的外部設置有非接觸式循環(huán)泵3，通過非接觸式循環(huán)泵3使液氮倉中的液氮能夠循環(huán)使用，無需向空氣中排放液氮，從而降低了能源的消耗并保護了環(huán)境，降低深冷處理的成本。

按照本實用新型，還包括與工件倉1相連的真空度表4。通過真空度表4能夠檢測工件倉中的真空度，保證工件在要求的真空度下進行工作。對于真空度表4的個數(shù)并無特別限制，可以為一個或多個。溫度傳感器5與工件倉1相連，能夠實時檢測工件倉的內(nèi)部溫度，當溫度傳感器5檢測到工件倉的溫度不是工作溫度時，可以通過調節(jié)液氮倉2中的液氮的量，達到控制溫度的目的。對于溫度傳感器5的個數(shù)并無特別限制，可以為一個或多個。