[實用新型]一種C/C平板化學氣相沉積分氣系統有效

申請號：	201020292479.8	申請日：	2010-08-13
公開（公告）號：	CN201817547U	公開（公告）日：	2011-05-04
發明（設計）人：	侯衛權;李永軍;李樹芳;薛寧娟;蘇君明;彭志剛	申請（專利權）人：	西安超碼科技有限公司
主分類號：	C23C16/455	分類號：	C23C16/455
代理公司：	西安創知專利事務所 61213	代理人：	譚文琰
地址：	710025***	國省代碼：	陜西;61
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種平板化學沉積系統
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【權利要求書】：

1.一種C/C平板化學氣相沉積分氣系統，包括均勻布設在相鄰C/C平板(1)之間兩側的石墨墊塊(2)和位于底部C/C平板(1)下方的爐底石墨板(3)，所述爐底石墨板(3)中心設置有爐底進氣通孔(4)，其特征在于：所述相鄰C/C平板(1)之間中心位置處設置有分氣裝置(5)，所述分氣裝置(5)為倒置的石墨圓筒，所述分氣裝置(5)上部中心設置有圓形通孔一(6)且所述圓形通孔一(6)的直徑由下至上逐漸遞減，所述分氣裝置(5)側壁均勻設置有圓形通孔二(7)。

2.按照權利要求1所述的一種C/C平板化學氣相沉積分氣系統，其特征在于：所述圓形通孔一(6)的直徑為20mm～80mm。

3.按照權利要求1所述的一種C/C平板化學氣相沉積分氣系統，其特征在于：所述圓形通孔二(7)的直徑為20mm～40mm。

4.按照權利要求1或3所述的一種C/C平板化學氣相沉積分氣系統，其特征在于：所述圓形通孔二(7)的數量為4～12個。

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