[實用新型]一種C/C平板化學(xué)氣相沉積分氣系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201020292479.8
• 申請日: 2010-08-13
• 公開（公告）號: CN201817547U
• 公開（公告）日: 2011-05-04
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 侯衛(wèi)權(quán);李永軍;李樹芳;薛寧娟;蘇君明;彭志剛
• 申請（專利權(quán)）人: 西安超碼科技有限公司
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455
• 代理公司: 西安創(chuàng)知專利事務(wù)所 61213
• 代理人: 譚文琰

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種分氣系統(tǒng)，尤其是涉及一種C/C平板化學(xué)氣相沉積分氣系統(tǒng)。

背景技術(shù)

現(xiàn)有技術(shù)中，用于生產(chǎn)C/C平板的化學(xué)氣相沉積分氣系統(tǒng)是由均勻布設(shè)在相鄰C/C平板之間兩側(cè)的石墨墊塊和位于底部C/C平板下方的爐底石墨板組成，其在使用過程中存在以下缺點：1、氣體不能充分在C/C平板處滯留，影響了產(chǎn)品的致密度；2、氣體不能自動引向爐內(nèi)上部，影響了上層產(chǎn)品的致密度；3、一次生產(chǎn)時的裝爐量小。

實用新型內(nèi)容

本實用新型所要解決的技術(shù)問題在于針對上述現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種C/C平板化學(xué)氣相沉積分氣系統(tǒng)，其結(jié)構(gòu)簡單、設(shè)計合理且使用操作方便，能有效提高上層產(chǎn)品的致密度，使得每層C/C平板密度均勻一致，同時具有重量小、使用輕便、裝爐量大和適用范圍廣的特點。

為解決上述技術(shù)問題，本實用新型采用的技術(shù)方案是：一種C/C平板化學(xué)氣相沉積分氣系統(tǒng)，包括均勻布設(shè)在相鄰C/C平板之間兩側(cè)的石墨墊塊和位于底部C/C平板下方的爐底石墨板，所述爐底石墨板中心設(shè)置有爐底進(jìn)氣通孔，其特征在于：所述相鄰C/C平板之間中心位置處設(shè)置有分氣裝置，所述分氣裝置為倒置的石墨圓筒，所述分氣裝置上部中心設(shè)置有圓形通孔一且所述圓形通孔一的直徑由下至上逐漸遞減，所述分氣裝置側(cè)壁均勻設(shè)置有圓形通孔二。

上述的一種C/C平板化學(xué)氣相沉積分氣系統(tǒng)，其特征在于：所述圓形通孔一的直徑為20mm～80mm。

上述的一種C/C平板化學(xué)氣相沉積分氣系統(tǒng)，其特征在于：所述圓形通孔二的直徑為20mm～40mm。

上述的一種C/C平板化學(xué)氣相沉積分氣系統(tǒng)，其特征在于：所述圓形通孔二的數(shù)量為4～12個。

本實用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有以下優(yōu)點：

1、結(jié)構(gòu)簡單，設(shè)計合理，其通過在相鄰C/C平板之間中心位置處設(shè)置分氣裝置，該分氣裝置為倒置的石墨圓筒，其上部中心設(shè)置有圓形通孔一且圓形通孔一的直徑由下至上逐漸遞減，分氣裝置側(cè)壁均勻設(shè)置有圓形通孔二。

2、使用操作方便，由于圓形通孔一的設(shè)置使得經(jīng)進(jìn)氣通孔后的氣體上下擴(kuò)散并引至上部產(chǎn)品，且由于圓形通孔一的直徑由下至上逐漸遞減，使得氣體向上流動的阻力增大，延長了氣體在C/C平板處的滯留時間，并使得氣體在爐內(nèi)均勻分布，同時配合圓形通孔二，使得氣體水平擴(kuò)散并引至C/C平板之間的縫隙，因此本實用新型能有效提高產(chǎn)品的致密度，提高每件產(chǎn)品密度的均勻性。

3、由于氣體在爐內(nèi)和C/C平板處的滯留時間加長，因此可增加一次生產(chǎn)時的裝爐量，進(jìn)而提高了C/C平板的生產(chǎn)效率。

4、由于選用在高溫條件下強(qiáng)度大的石墨作為分氣裝置的原材料，因此本實用新型還具有耐高溫和高溫條件不易變形的特點。

5、本實用新型還具有重量小、使用輕便和適用范圍廣的特點，可有效適用至各類C/C平板的生產(chǎn)制作過程中。

下面通過附圖和實施例，對本實用新型做進(jìn)一步的詳細(xì)描述。

附圖說明

圖1為本實用新型的整體結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為本實用新型分氣裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

附圖標(biāo)記說明：

1-C/C平板；????????2-石墨墊塊；????3-爐底石墨板；

4-爐底進(jìn)氣通孔；???5-分氣裝置；????6-圓形通孔一；

7-圓形通孔二。

具體實施方式

如圖1和2所示的一種C/C平板化學(xué)氣相沉積分氣系統(tǒng)，包括均勻布設(shè)在相鄰C/C平板1之間兩側(cè)的石墨墊塊2和位于底部C/C平板1下方的爐底石墨板3，所述爐底石墨板3中心設(shè)置有爐底進(jìn)氣通孔4，所述相鄰C/C平板1之間中心位置處設(shè)置有分氣裝置5，所述分氣裝置5為倒置的石墨圓筒，所述分氣裝置5上部中心設(shè)置有圓形通孔一6且所述圓形通孔一6的直徑由下至上逐漸遞減，所述分氣裝置5側(cè)壁均勻設(shè)置有圓形通孔二7。

本實用新型中，所述圓形通孔一6的直徑為20mm～80mm。

本實用新型中，所述圓形通孔二7的直徑為20mm～40mm。

本實用新型中，所述圓形通孔二7的數(shù)量為4～12個。

本實用新型的工作原理為：通過利用分氣裝置5上部中心的圓形通孔一6將經(jīng)進(jìn)氣通孔4后的氣體上下擴(kuò)散并引至上部產(chǎn)品，且由于圓形通孔一6的直徑由下至上逐漸遞減，使得氣體向上流動的阻力增大，延長了氣體在C/C平板1處的滯留時間，并使得氣體在爐內(nèi)均勻分布，進(jìn)而提高了產(chǎn)品的致密度；同時配合設(shè)置在分氣裝置5側(cè)壁的圓形通孔二7，使得氣體水平擴(kuò)散并引至C/C平板1之間的縫隙，進(jìn)一步提高了產(chǎn)品的致密度，提高每件產(chǎn)品密度的均勻性，另外也增加了一次生產(chǎn)時的裝爐量，提高了C/C平板的生產(chǎn)效率。

以上所述，僅是本實用新型的較佳實施例，并非對本實用新型作任何限制，凡是根據(jù)本實用新型技術(shù)實質(zhì)對以上實施例所作的任何簡單修改、變更以及等效結(jié)構(gòu)變化，均仍屬于本實用新型技術(shù)方案的保護(hù)范圍內(nèi)。