[實用新型]無漂移的高精度開式靜壓導軌

無效

• 申請號: 201020277077.0
• 申請日: 2010-07-30
• 公開（公告）號: CN201763815U
• 公開（公告）日: 2011-03-16
• 發明（設計）人: 戴惠良;鄒鯤;周勤之;丁振乾;朱豐訓;閆如忠;楊延竹;馬濤;張亮;劉思仁;李興軍
• 申請（專利權）人: 東華大學
• 主分類號: F16C32/06
• 分類號: F16C32/06
• 代理公司: 上海泰能知識產權代理事務所 31233
• 代理人: 黃志達;謝文凱

1.一種無漂移的高精度開式靜壓導軌，包括浮動導軌(1)和支撐導軌(2)，其特征是：所述的浮動導軌(1)放置在所述的支撐導軌(2)上；所述的浮動導軌(1)與支撐導軌(2)的接觸面上開有靜壓油腔(6)和負壓腔(7)；所述的靜壓油腔(6)通過節流器(5)與供油系統(9)連通；所述的負壓腔(7)和真空泵(4)連通；所述的真空泵(4)通過油氣分離裝置與所述的供油系統(9)連通；所述的浮動導軌(1)和支撐導軌(2)之間開有和所述的供油系統(9)相通的回油槽。

2.如權利要求1所述的無漂移的高精度開式靜壓導軌，其特征是：所述的回油槽由開在所述的浮動導軌(1)表面的橫向回油槽(8)和開在所述的支撐導軌(2)上的縱向回油槽(3)組成。

3.如權利要求1或2所述的無漂移的高精度開式靜壓導軌，其特征是：所述的靜壓油腔(6)和負壓腔(7)在所述的浮動導軌(1)的表面一對一間隔布置。

4.如權利要求3所述的無漂移的高精度開式靜壓導軌，其特征是：所述的真空泵(4)為射流式真空泵。

5.如權利要求4所述的無漂移的高精度開式靜壓導軌，其特征是：所述的浮動導軌(1)為“V”形導軌，所述的靜壓油腔(6)和負壓腔(7)在“V”的兩個平面上對稱布置。