[實用新型]用于檢查具有第一表面和第二表面的透明玻璃板的裝置

有效

• 申請號: 201020267136.6
• 申請日: 2010-05-24
• 公開（公告）號: CN201795992U
• 公開（公告）日: 2011-04-13
• 發明（設計）人: D·M·伯格;C·K·伊斯特曼;J·高里爾
• 申請（專利權）人: 康寧股份有限公司
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88;G01N21/896
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 李玲

技術領域

本實用新型涉及玻璃板的檢查。?

術語定義?

用在本實用新型說明書和權利要求中的如下術語，將具有如下含義：?

“缺陷”總地表示在玻璃板表面或內部的顆粒和瑕疵。?

“玻璃板”表示單獨的玻璃片或者從單獨的玻璃片上分離出來的玻璃條，其取決于檢查系統的特定應用，即該系統是用于檢查玻璃條，還是用于檢查從玻璃條中分離出來的單獨的玻璃片。?

“光束”通常表示電磁輻射，其包括可見光和非可見光范圍的輻射。?

“行掃描照相機”表示具有由像素組成的光敏區域的檢測器，其光敏區域的長度L至少是該區域寬度W的10倍。行掃描照相機包括延時積分(TDI)照相機(也被稱為時域積分照相機)，其L/W的比值大于10。?

背景技術

玻璃板常用作顯示領域中的基板，如液晶顯示器(LCD)和有機發光二極管(OLED)顯示器中，其需要表面基本上沒有1微米及以上尺寸的缺陷。據此，需要付出額外的努力去尋找有效的方法來檢查玻璃板的這種缺陷。?

缺陷尺寸很小，在檢查中正常使用的波長處玻璃板是透明的，玻璃板很薄(如在顯示應用中是0.2至1.2毫米量級)，這些情況給檢查帶來了挑戰性問題。更進一步，由于平板顯示器的需求增加，玻璃制造生產線的數量也增加。因此，檢查裝置的需求也增加，從而使得所述裝置的成本和復雜性作為評價一個系統的適合性的重要考慮。?

如下述公開，本實用新型提供了一種檢查系統，其符合可靠檢查顯示器玻璃的相關性能標準，其中采用了相對便宜的光學元件，可以容易地安裝到一個緊密的器件中，其可在制造設置中輕松地配置。?

實用新型內容

依據本實用新型的第1方面，公開了一種用于檢查具有第一表面和第二表面的透明玻璃板的裝置，其中包括：?

(A)光源，其照射玻璃板的一部分；?

(B)行掃描照相機，其檢測從玻璃板上或玻璃板內的缺陷散射的光，該行掃描照相機包括多個像素，其形成具有長度L和寬度W的光敏區域；以及?

(C)光學系統，其將從缺陷散射的光傳輸到行掃描照相機，該光學系統具有數值孔徑NA并且包括：?

(i)主凹面反射鏡，其具有第一部分和第二部分，該反射鏡具有曲率半徑R；和?

(ii)凸面次反射鏡；?

其中：?

(a)從缺陷散射的光經過光路到達行掃描照相機，該光路包括來自凹面主反射鏡的第一部分的反射、來自凸面次反射鏡的反射以及來自凹面主反射鏡的第二部分的反射；?

(b)主和次反射鏡的曲率中心基本重合，并且次反射鏡的半徑基本上等于主反射鏡的半徑的一半；以及?

(c)L、W和R滿足下列關系：?

L/R≤0.25；和?

對于NA≥0.10，W/R≤0.14*(sqrt(1-(L/R)²)-1)+0.046；和?

對于NA≥0.12，W/R≤0.14*(sqrt(1-(L/R)²)-1)+0.033；和?

對于NA≥0.15，W/R≤0.14*(sqrt(1-(L/R)²)-1)+0.020。?

依據本實用新型的第2方面，公開了一種用于檢查具有第一表面和第二表面的透明玻璃板的裝置，其中包括：?

(A)光源，其照射玻璃板的一部分；?

(B)行掃描照相機，其檢測從玻璃板上或玻璃板內的缺陷散射的光，該行掃描照相機包括多個像素，其形成具有長度L和寬度W的光敏區域；以及?

(C)光學系統，其將從缺陷散射的光傳輸到行掃描照相機，該光學系統具有數值孔徑NA并且包括：?

(i)主凹面反射鏡，其具有第一部分和第二部分，該反射鏡具有曲率半徑R；和?

(ii)凸面次反射鏡；?

其中：?

(a)從缺陷散射的光經過光路到達行掃描照相機，該光路包括來自凹面主反射鏡的第一部分的反射、來自凸面次反射鏡的反射以及來自凹面主反射鏡的第二部分的反射；?

(b)主和次反射鏡的曲率中心基本重合，次反射鏡的半徑基本上等于主反射鏡的半徑的一半；以及?

(c)所述光學系統在聚焦到玻璃板第一表面上時在該表面處具有半徑D1的點擴散函數并且在第二表面處具有半徑D2的點擴散函數，其中D1和D2滿足下列關系：?

D2/D1≥35?

其中玻璃板的厚度在0.2至1.2毫米范圍內。?