[實用新型]用于檢查具有第一表面和第二表面的透明玻璃板的裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201020267136.6
• 申請日: 2010-05-24
• 公開（公告）號: CN201795992U
• 公開（公告）日: 2011-04-13
• 發(fā)明（設(shè)計）人: D·M·伯格;C·K·伊斯特曼;J·高里爾
• 申請（專利權(quán)）人: 康寧股份有限公司
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88;G01N21/896
• 代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100
• 代理人: 李玲

1.一種用于檢查具有第一表面和第二表面的透明玻璃板的裝置，該裝置包括：

(A)光源，其照射玻璃板的一部分；

(B)行掃描照相機，其檢測從玻璃板上或玻璃板內(nèi)的缺陷散射的光，該行掃描照相機包括多個像素，這些像素形成具有長度L和寬度W的光敏區(qū)域；以及

(C)光學(xué)系統(tǒng)，其將從缺陷散射的光傳輸?shù)叫袙呙枵障鄼C，該光學(xué)系統(tǒng)具有數(shù)值孔徑NA并且包括：

(i)主凹面反射鏡，其具有第一部分和第二部分，該反射鏡具有曲率半徑R；和

(ii)凸面次反射鏡；

其中：

(a)從缺陷散射的光經(jīng)過光路到達行掃描照相機，該光路包括來自凹面主反射鏡的第一部分的反射、來自凸面次反射鏡的反射以及來自凹面主反射鏡的第二部分的反射；

(b)主和次反射鏡的曲率中心基本重合，并且次反射鏡的半徑基本上等于主反射鏡的半徑的一半；以及

(c)L、W和R滿足下述關(guān)系：

L/R≤0.25；和

對于NA≥0.10，W/R≤0.14*(sqrt(1-(L/R)²)-1)+0.046；和

對于NA≥0.12，W/R≤0.14*(sqrt(1-(L/R)²)-1)+0.033；和

對于NA≥0.15，W/R≤0.14*(sqrt(1-(L/R)²)-1)+0.020。

2.如權(quán)利要求1所述的裝置，其中所述光學(xué)系統(tǒng)在聚焦到玻璃板第一表面上時在該表面處具有半徑D1的點擴散函數(shù)并且在第二表面處具有半徑D2的點擴散函數(shù)，其中D1和D2滿足下述關(guān)系：

D2/D1≥35

其中玻璃板的厚度在0.2至1.2毫米的范圍內(nèi)。

3.如權(quán)利要求1所述的裝置，其中NA滿足下述關(guān)系：

0.10≤NA≤0.15。

4.如權(quán)利要求1所述的裝置，其中所述光學(xué)系統(tǒng)的孔徑光闌位于次反射鏡處。

5.如權(quán)利要求1-4任一項所述的裝置，其中光路只包括反射的光學(xué)表面。