[實用新型]多功能硅片鼓泡清洗水槽有效
| 申請號： | 201020261778.5 | 申請日： | 2010-07-12 |
| 公開（公告）號： | CN201711310U | 公開（公告）日： | 2011-01-19 |
| 發明（設計）人： | 索思卓;庫黎明;邊永智;閆志瑞 | 申請（專利權）人： | 北京有色金屬研究總院;有研半導體材料股份有限公司 |
| 主分類號： | B08B3/10 | 分類號： | B08B3/10 |
| 代理公司： | 北京北新智誠知識產權代理有限公司 11100 | 代理人： | 郭佩蘭 |
| 地址： | 100088*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 多功能 硅片 清洗 水槽 | ||
【權利要求書】：
1.一種多功能鼓泡式清洗水槽，其特征在于：它包括：存放水槽、多個鼓泡水槽，存放水槽設有純水進水口，水槽的側壁均開有漏水槽，水槽底部均為斜面，進水處高，排水處低，排水處底部都設有一個從底部直接排水的排水口，在水槽內鋪設有水平塑料板，塑料板上有小孔，塑料板下面鋪設有壓縮空氣管道，管道壁上開有多個孔。
2.根據權利要求1所述的一種多功能鼓泡式清洗水槽，其特征在于：漏水槽與水槽水平塑料板距離大于硅片花籃高度。
3.根據權利要求1或2所述的一種多功能鼓泡式清洗水槽，其特征在于：整個裝置表層材料為四氟。
4.根據權利要求1或2所述的一種多功能鼓泡式清洗水槽，其特征在于：水槽底部斜面與水平面的夾角α的范圍在0度＜α＜60度。
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