[實用新型]一種用于固晶機的晶圓推頂裝置

無效

• 申請號: 201020257046.9
• 申請日: 2010-07-13
• 公開（公告）號: CN202003972U
• 公開（公告）日: 2011-10-05
• 發明（設計）人: 朱亦武
• 申請（專利權）人: 江門市新僑光電科技有限公司
• 主分類號: H01L21/68
• 分類號: H01L21/68
• 代理公司: 廣州粵高專利商標代理有限公司 44102
• 代理人: 禹小明;王楚鴻

技術領域

本實用新型涉及一種用于晶固機的晶圓推頂裝置，尤其涉及一種在半導體封裝中將晶片與聚酯薄膜層脫離的裝置。

背景技術

目前，在半導體行業封裝中固晶機將晶圓1與聚酯薄膜層2脫離的推頂系統主要以伺服電機5帶動凸輪4托動凸輪式推頂軸組件3和推頂針將晶圓向上頂出，使晶片與聚酯薄膜層脫離的方法為主，其工作原理是利用真空吸附聚酯薄膜，再使推頂針向上頂出而使晶片脫離，如圖1、圖2所示所示。其存在不良缺點有二：其一，推頂針極易磨損。依靠馬達帶動凸輪托動推頂針將晶片向上頂出，真空吸咀下壓吸取晶片時，極易造成壓壞晶片及磨損推頂針，因此大大降低了固晶機的工作效率和質量。其二，機構復雜，造價成本重。考慮推頂針將晶片向上頂出時避免與真空吸咀相碰撞，定位準確度需達微米級，通常采用伺服電機控制系統，大大增加設備造價成本。

實用新型內容

本實用新型為了克服現有技術的不足，提供了一種結構簡單，節省了原有的伺服電機控制系統的晶圓推頂裝置。

本實用新型所要解決的技術方案為：一種用于固晶機的晶圓推頂裝置，包括推頂軸芯外筒組件、下部安裝于推頂軸芯外筒組件內的上下活動推頂軸芯組件、安裝于上下活動推頂軸芯組件上部的固定推頂針組件、嵌裝于上下活動推頂軸芯組件內并穿過推頂軸芯外筒組件底部的滾珠式花鍵組件，固定推頂針組件與滾珠式花鍵組件連接，其中前述的推頂軸芯外筒組件包括一推頂軸芯外筒、推頂軸芯外筒連接有連接調氣閥和氣咀。推頂軸芯外筒組件：其作用是作為推頂軸芯活塞的外筒，與推頂軸芯活塞配合可以上下滑動并密封。

前述的上下活動推頂軸芯組件包括一中空的推頂軸芯，推頂軸芯連接有推頂軸活塞，推頂軸活塞外環設有密封圈，推頂軸活塞上設有氣動電磁閥，推頂軸芯的頂部設有一小孔。上下活動推頂軸芯組件：其作用是利用真空吸附聚酯薄膜，當聚酯薄膜封閉推頂軸芯上的小氣孔時，使推頂軸芯的內腔抽空而使聚酯薄膜往下拉動。

前述的固定推頂針組件包括設于推頂軸芯空腔內的推頂針壓帽，推頂針壓帽安裝固定有對應推頂軸芯頂部小孔的推頂針。固定的推頂針組件：其作用是當推頂軸芯的內腔抽空而使聚酯薄膜往下拉動時，推頂針露出推頂軸芯面將晶片脫離聚酯薄膜，推頂針露出高度可通過微調螺絲調整。

前述的滾珠式花鍵組件包括穿過推頂軸芯外筒和推頂軸芯與推頂針固定連接的滾珠式花鍵軸芯、設于推頂軸芯外筒內并套緊滾珠式花鍵軸芯的滾珠式花鍵外筒，外套于滾珠式花鍵軸芯上的定位圓筒，定位圓筒位于滾珠式花鍵外筒和推頂軸芯外筒之間，定位圓筒上環設有彈簧；滾珠式花鍵軸芯露于推頂軸芯外筒的一端上依次套有推頂針高度微調螺母和推頂針高度微調螺絲。滾珠式花鍵組件：其作用是使推頂軸芯部組相對于推頂針部組能上下垂直滑動，并且配合精密無間隙。

前述的推頂軸芯頂部的小孔孔徑略大于推頂針針端的直徑并可使推頂針的針頭露出小孔。

本實用新型的基本原理是：推頂針固定不動，利用真空吸附聚酯薄膜，當聚酯薄膜封閉推頂軸芯上的小氣孔時，使推頂軸芯的內腔抽空而使聚酯薄膜往下拉動，從而使推頂針露出推頂軸芯面將晶片脫離聚酯薄膜層。

本實用新型的晶圓推頂裝置在方案上棄用推頂針將晶片向上頂出脫離聚酯薄膜層的方法，將原來推頂針頂出活動改為不動，通過原有的真空吸附聚酯薄膜，當推頂軸芯組的內腔抽空時，使聚酯薄膜吸附在推頂軸芯的平面上，同時下拉聚酯薄膜低于推頂針，從而使推頂針頂出晶片脫離聚酯薄膜層。此裝置結構簡單，節省了一組伺服電機控制系統，在原來的真空氣路上并可實現。本實用新型晶圓推頂裝置的結構設計實用、簡單，將半導體行業封裝中固晶機的工作效率和質量大大改良提高。

附圖說明

圖1是現有技術中的凸輪式晶圓推頂裝置的結構示意圖。

圖2是圖1中A處的局部放大圖。

圖3是本實用新型的晶圓推頂裝置的結構示意圖。

圖4是本實用新型的晶圓推頂裝置的結構分解圖。

圖5是本實用新型的晶圓推頂裝置的結構剖視圖。

附圖中零件的標號如下：

1、晶圓，2、聚酯薄膜層，3、凸輪式推頂軸組件，4、凸輪、5、伺服電機，6、固定的推頂針組件，7、上下活動推頂軸芯組件，8、滾珠式花鍵組件，9、推頂軸芯外筒組件，10、推頂軸芯，11、推頂針壓帽，12、推頂針，13、密封圈，14、推頂軸活塞，15、滾珠式花鍵軸芯，16滾珠式花鍵外筒，17、彈簧，18、定位圓筒，19、推頂軸芯外筒，20、推頂針高度微調螺母，21、推頂針高度微調螺絲。

具體實施方式

下面結合附圖和實施例對本實用新型晶圓推頂裝置進一步說明。