[實用新型]一種用于固晶機的晶圓推頂裝置無效

申請號：	201020257046.9	申請日：	2010-07-13
公開（公告）號：	CN202003972U	公開（公告）日：	2011-10-05
發明（設計）人：	朱亦武	申請（專利權）人：	江門市新僑光電科技有限公司
主分類號：	H01L21/68	分類號：	H01L21/68
代理公司：	廣州粵高專利商標代理有限公司 44102	代理人：	禹小明;王楚鴻
地址：	529000 廣東省江門市江海區金***	國省代碼：	廣東;44
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種用于固晶機晶圓推頂裝置
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【權利要求書】：

1.一種用于固晶機的晶圓推頂裝置，包括推頂軸芯外筒組件(9)、下部安裝于推頂軸芯外筒組件(9)內的上下活動推頂軸芯組件(7)、安裝于上下活動推頂軸芯組件上部的固定推頂針組件(6)、嵌裝于上下活動推頂軸芯組件內并穿過推頂軸芯外筒組件底部的滾珠式花鍵組件(8)，固定推頂針組件與滾珠式花鍵組件連接，其特征在于：所述的推頂軸芯外筒組件包括一推頂軸芯外筒(19)、推頂軸芯外筒連接有連接調氣閥和氣咀；所述的上下活動推頂軸芯組件包括一中空的推頂軸芯(10)，推頂軸芯連接有推頂軸活塞(14)，推頂軸活塞外環設有密封圈(13)，推頂軸活塞上設有氣動電磁閥，推頂軸芯的頂部設有一小孔；所述的固定推頂針組件包括設于推頂軸芯空腔內的推頂針壓帽(11)，推頂針壓帽安裝固定有對應推頂軸芯頂部小孔的推頂針(12)；所述的滾珠式花鍵組件包括穿過推頂軸芯外筒和推頂軸芯與推頂針固定連接的滾珠式花鍵軸芯(15)、設于推頂軸芯外筒內并套緊滾珠式花鍵軸芯的滾珠式花鍵外筒(16)，外套于滾珠式花鍵軸芯上的定位圓筒(18)，定位圓筒位于滾珠式花鍵外筒和推頂軸芯外筒之間，定位圓筒上環設有彈簧(17)；滾珠式花鍵軸芯露于推頂軸芯外筒的一端上依次套有推頂針高度微調螺母(20)和推頂針高度微調螺絲(21)。

2.根據權利要求1所述的晶圓推頂裝置，其特征在于：所述的推頂軸芯頂部的小孔孔徑略大于推頂針針端的直徑并可使推頂針的針頭露出小孔。?

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