[實用新型]拋光機有效
| 申請號： | 201020246522.7 | 申請日： | 2010-06-30 |
| 公開（公告）號： | CN201863103U | 公開（公告）日： | 2011-06-15 |
| 發明（設計）人： | 張順勇;張佐兵;林岱慶 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司;武漢新芯集成電路制造有限公司 |
| 主分類號： | B24B29/00 | 分類號： | B24B29/00 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李時云 |
| 地址： | 20120*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 拋光機 | ||
【權利要求書】：
1.一種拋光機，包括：
工作臺；
拋光墊，承載在工作臺上；
支撐架，固定在工作臺一側；
鎖固柱，固定在支撐架一端，并位于工作臺上方；
樣品夾持器，套設在鎖固柱外側，并用以容置待拋光樣品；
碟盤組，固定在樣品夾持器上，并用以調節樣品夾持器作用在樣品上的作用力；
其特征在于：所述樣品夾持器進一步包括套設在所述鎖固柱外側的套柱及連接在套柱一端的樣品容置盤。
2.根據權利要求1所述的拋光機，其特征在于：所述支撐架通過螺紋旋擰固定在工作臺一側。
3.根據權利要求1所述的拋光機，其特征在于：所述鎖固柱通過螺紋旋擰固定在支撐架上。
4.根據權利要求3所述的拋光機，其特征在于：所述鎖固柱進一步包括通過螺紋旋擰設置在鎖固柱與支撐架接觸部的螺栓。
5.根據權利要求1所述的拋光機，其特征在于：所述樣品容置盤之異于套柱的一側形成樣品容置坑。
6.根據權利要求5所述的拋光機，其特征在于：所述樣品容置坑的直徑為5～15mm。
7.根據權利要求1所述的拋光機，其特征在于，所述的碟盤組包括不同重量規格的碟盤。
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