[實(shí)用新型]一種排壓裝置及帶排壓裝置的化學(xué)藥品儲存裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201020246507.2
• 申請日: 2010-06-30
• 公開（公告）號: CN201729437U
• 公開（公告）日: 2011-02-02
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 吳良輝;汪亞軍;何顯雙
• 申請（專利權(quán)）人: 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司;武漢新芯集成電路制造有限公司
• 主分類號: B65D90/32
• 分類號: B65D90/32;B65D90/48;B65D88/02
• 代理公司: 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種化學(xué)藥品儲存領(lǐng)域，尤其涉及一種危險易分解的化學(xué)藥品的排壓裝置及帶排壓裝置的化學(xué)藥品儲存裝置。

背景技術(shù)

隨著超大規(guī)模集成電路的發(fā)展，集成度的不斷提高，線寬的不斷減小，對硅片的質(zhì)量要求也越來越高，特別是對硅拋光片的表面質(zhì)量要求越來越嚴(yán)。這主要是因為拋光片表面的顆粒和金屬雜質(zhì)沾污會嚴(yán)重影響器件的質(zhì)量和成品率。在目前的集成電路生產(chǎn)中，由于硅拋光片表面沾污問題，仍有大量的材料被損失掉。在硅晶體管和集成電路生產(chǎn)中，幾乎每道工序都有硅片清洗的問題，硅片清洗的好壞對器件性能有嚴(yán)重的影響，處理不當(dāng)，可能使全部硅片報廢，做不出管子來，或者制造出來的器件性能低劣，穩(wěn)定性和可靠性很差。

而在硅片的清洗過程中以及集成電路產(chǎn)品的制造過程中，需使用大量的化學(xué)藥品，這些化學(xué)藥品一般是由廠務(wù)通過管道注入到化學(xué)罐中，由化學(xué)罐進(jìn)行儲存，需使用化學(xué)藥品時，再從化學(xué)罐中將該化學(xué)藥品通入到處理罐中，接著進(jìn)行相應(yīng)的處理程序。通常來說儲存化學(xué)藥品的化學(xué)罐裝在一個匣子里，該匣子集成在半導(dǎo)體制造機(jī)臺中。

請參考圖1，圖1為現(xiàn)有的化學(xué)藥品儲存裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，由圖1可知，現(xiàn)有的化學(xué)藥品儲存裝置包括化學(xué)罐10、進(jìn)液管路20、進(jìn)液氣壓平衡管路30以及出液管路；所述進(jìn)液管路20上設(shè)有第二充氣閥21，所述進(jìn)液管路20與廠務(wù)相應(yīng)化學(xué)藥品設(shè)備相連，以便從所述廠務(wù)注入化學(xué)藥品至所述化學(xué)罐10中；所述進(jìn)液氣壓平衡管路30上設(shè)置有第三充氣閥31，以便在廠務(wù)向所述化學(xué)罐10內(nèi)注入化學(xué)藥品時，排出所述化學(xué)罐10內(nèi)的氣體，使所述化學(xué)罐10內(nèi)的氣壓與外界氣壓相等，從而使化學(xué)藥品能順利注入到所述化學(xué)罐10內(nèi)；所述出液管路包括控制管路41及液體管路42，所述控制管路41的一端插入所述化學(xué)罐10的上部，另一端與一氮?dú)馄肯噙B，所述控制管路41上設(shè)置有第四充氣閥411及氣體流量控制器412；所述液體管路42的一端插入所述化學(xué)罐10的底部，另一端流出化學(xué)藥品供使用，所述液體管路42上設(shè)置有液體流量控制器421、第五充氣閥422以及過濾器423。

同時，所述化學(xué)罐10上從下向上依次設(shè)置有第一液位監(jiān)測傳感器50、第二液位監(jiān)測傳感器51以及第三液位監(jiān)測傳感器52，以監(jiān)測所述化學(xué)罐10內(nèi)的液位，以便廠務(wù)及時向所述化學(xué)罐10內(nèi)注入化學(xué)藥品。

并且，現(xiàn)有的化學(xué)藥品儲存裝置還包括匣子60、排氣管道70、泄露監(jiān)測傳感器80以及清洗管路90；所述化學(xué)罐10設(shè)置于所述匣子60中，所述匣子60設(shè)置于半導(dǎo)體制造機(jī)臺中；所述排氣管道70設(shè)置于所述匣子60上，以保持所述匣子60內(nèi)部的氣壓與外界大氣壓相等；所述泄露監(jiān)測傳感器80設(shè)置于所述匣子60的底部，以監(jiān)測所述化學(xué)罐10是否發(fā)生泄露；所述清洗管路90與所述化學(xué)罐10相連，向所述化學(xué)罐10內(nèi)注入去離子水，以便對所述化學(xué)罐10及其相關(guān)管路進(jìn)行清洗和維護(hù)，并且所述清洗管路上設(shè)置有第六充氣閥91。

然而，由于有些化學(xué)藥品性質(zhì)不穩(wěn)定，容易分解產(chǎn)生氣體，從而造成化學(xué)罐2內(nèi)的氣壓升高。例如雙氧水，容易發(fā)生如下分解反應(yīng)：2H₂O₂＝2H₂O+O₂，產(chǎn)生水和氧氣，所產(chǎn)生的氧氣導(dǎo)致化學(xué)罐2內(nèi)的氣壓升高，當(dāng)化學(xué)罐2內(nèi)的氣壓升高到一定程度時，容易導(dǎo)致爆炸等危險，從而造成損失。

因此，有必要對現(xiàn)有的化學(xué)藥品儲存裝置進(jìn)行改進(jìn)。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種排壓裝置及帶排壓裝置的化學(xué)藥品儲存裝置，以解決現(xiàn)有技術(shù)中的化學(xué)藥品儲存裝置沒有設(shè)置排壓裝置，從而在儲存易分解的化學(xué)藥品時，容易導(dǎo)致化學(xué)罐內(nèi)的氣壓過高而導(dǎo)致爆炸，造成損失的問題。

為解決上述問題，本實(shí)用新型提出一種排壓裝置，用于排放密閉容器內(nèi)的液體或氣體，以避免所述密閉容器內(nèi)的壓力過大，該排壓裝置包括壓力測量儀、閥控制器以及第一充氣閥，所述壓力測量儀與所述密閉容器相連；所述閥控制器的一端與所述壓力測量儀相連，另一端與所述第一充氣閥相連，控制所述第一充氣閥的開關(guān)；所述第一充氣閥設(shè)置于一第一管道上，所述第一管道與所述密閉容器相連。

可選的，該排壓裝置還包括手動閥及第二管道，所述手動閥設(shè)置在所述第二管道上，所述第二管道并聯(lián)在所述第一充氣閥的兩端，且所述第二管道與所述第一管道連通。

可選的，該排壓裝置還包括廢棄容器，所述第一管道的一端與所述密閉容器相連，另一端與所述廢棄容器相連。