[實用新型]一種排壓裝置及帶排壓裝置的化學藥品儲存裝置

有效

• 申請號: 201020246507.2
• 申請日: 2010-06-30
• 公開（公告）號: CN201729437U
• 公開（公告）日: 2011-02-02
• 發明（設計）人: 吳良輝;汪亞軍;何顯雙
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司;武漢新芯集成電路制造有限公司
• 主分類號: B65D90/32
• 分類號: B65D90/32;B65D90/48;B65D88/02
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種排壓裝置，用于排放密閉容器內的液體或氣體，其特征在于，包括壓力測量儀、閥控制器以及第一充氣閥，所述壓力測量儀與所述密閉容器相連；所述閥控制器的一端與所述壓力測量儀相連，另一端與所述第一充氣閥相連，控制所述第一充氣閥的開關；所述第一充氣閥設置于一第一管道上，所述第一管道與所述密閉容器相連。

2.如權利要求1所述的排壓裝置，其特征在于，還包括手動閥及第二管道，所述手動閥設置在所述第二管道上，所述第二管道并聯在所述第一充氣閥的兩端，且所述第二管道與所述第一管道連通。

3.如權利要求1所述的排壓裝置，其特征在于，還包括廢棄容器，所述第一管道的一端與所述密閉容器相連，另一端與所述廢棄容器相連。

4.一種化學藥品儲存裝置，其特征在于，包括化學罐、進液管路、進液氣壓平衡管路、出液管路以及排壓裝置；所述進液管路、所述進液氣壓平衡管路以及所述出液管路分別與所述化學罐相連；所述排壓裝置包括壓力測量儀、閥控制器以及第一充氣閥，所述壓力測量儀與所述化學罐相連；所述閥控制器的一端與所述壓力測量儀相連，另一端與所述第一充氣閥相連，控制所述第一充氣閥的開關；所述第一充氣閥設置于一第一管道上，所述第一管道與所述化學罐相連。

5.如權利要求4所述的化學藥品儲存裝置，其特征在于，所述排壓裝置還包括手動閥及第二管道，所述手動閥設置在所述第二管道上，所述第二管道并聯在所述第一充氣閥的兩端，且所述第二管道與所述第一管道連通。

6.如權利要求4所述的化學藥品儲存裝置，其特征在于，所述排壓裝置還包括廢棄容器，所述第一管道的一端與所述化學罐相連，另一端與所述廢棄容器相連。

7.如權利要求4至6中任一項所述的化學藥品儲存裝置，其特征在于，所述進液管路上設置有第二充氣閥。

8.如權利要求4至6中任一項所述的化學藥品儲存裝置，其特征在于，所述進液氣壓平衡管路上設置有第三充氣閥。

9.如權利要求4至6中任一項所述的化學藥品儲存裝置，其特征在于，所述出液管路包括控制管路及液體管路，所述控制管路的一端插入所述化學罐的上部，另一端與一氮氣瓶相連，所述液體管路的一端插入所述化學罐的底部，另一端流出化學藥品供使用。

10.如權利要求9所述的化學藥品儲存裝置，其特征在于，所述壓力測量儀設置在所述液體管路上，通過所述液體管路與所述化學罐相連，所述第一管道與所述液體管路相連。

11.如權利要求9所述的化學藥品儲存裝置，其特征在于，所述控制管路上設置有第四充氣閥及氣體流量控制器。

12.如權利要求9所述的化學藥品儲存裝置，其特征在于，所述液體管路上設置有液體流量控制器、第五充氣閥以及過濾器。

13.如權利要求4至6中任一項所述的化學藥品儲存裝置，其特征在于，還包括第一液位監測傳感器、第二液位監測傳感器以及第三液位監測傳感器，所述第一液位監測傳感器、第二液位監測傳感器以及第三液位監測傳感器從下至上依次設置于所述化學罐上。

14.如權利要求4至6中任一項所述的化學藥品儲存裝置，其特征在于，還包括匣子，所述化學罐設置于所述匣子中。

15.如權利要求14所述的化學藥品儲存裝置，其特征在于，還包括排氣管道，所述排氣管道設置于所述匣子上。

16.如權利要求14所述的化學藥品儲存裝置，其特征在于，還包括泄露監測傳感器，所述泄露監測傳感器設置于所述匣子的底部。

17.如權利要求4至6中任一項所述的化學藥品儲存裝置，其特征在于，還包括清洗管路，所述清洗管路與所述化學罐相連，向所述化學罐內注入去離子水，所述清洗管路上設置有第六充氣閥。