[實用新型]長度測量系統有效
| 申請號： | 201020246479.4 | 申請日： | 2010-06-30 |
| 公開（公告）號： | CN201772862U | 公開（公告）日： | 2011-03-23 |
| 發明（設計）人： | 康盛;劉永波;何廣智 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司 |
| 主分類號： | G01B11/02 | 分類號： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李時云 |
| 地址： | 20120*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 長度 測量 系統 | ||
1.一種長度測量系統，測量晶圓表面宏觀缺陷的長度，其特征在于，包括光源裝置、載片臺和自動控制裝置；
所述載片臺位于所述光源裝置的下方；
所述光源裝置發射的光束投射到所述載片臺的表面上；
所述自動控制裝置與所述光源裝置和載片臺連接。
2.如權利要求1所述的長度測量系統，其特征在于，所述光源裝置包括外殼、光學系統、兩片擋片和固定轉軸；
所述光學系統設置在所述外殼內；
所述固定轉軸設置在所述外殼的上部；
所述外殼的底端設有一細縫條，所述光學系統發射的光束經由該細縫條投射到所述載片臺的表面上；
所述兩片擋片設置在所述外殼的底端，所述兩片擋片與所述細縫條滑動連接，所述兩片擋片沿所述細縫條的長度方向滑動，改變所述兩片擋片遮擋所述細縫條的長度，改變所述光源裝置投射到所述載片臺表面的投影長度；
所述外殼、光學系統和兩片擋片同步繞所述固定轉軸轉動，改變所述光源裝置發射的光束相對所述載片臺表面的位置。
3.如權利要求2所述的長度測量系統，其特征在于，所述細縫條的長度方向平行于所述固定轉軸所在的直線。
4.如權利要求2所述的長度測量系統，其特征在于，所述固定轉軸平行于所述載片臺表面所在的平面。
5.如權利要求2所述的長度測量系統，其特征在于，所述光學系統包括點光源、第一透鏡和第二透鏡；
所述點光源、第一透鏡和第二透鏡從上至下依次排列；
所述第一透鏡和第二透鏡的光軸相互重合；
所述點光源設置在所述第一透鏡的焦點上。
6.如權利要求5所述的長度測量系統，其特征在于，所述固定轉軸垂直于所述第一透鏡和第二透鏡的光軸。
7.如權利要求5所述的長度測量系統，其特征在于，所述第一透鏡和第二透鏡均為凸透鏡。
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