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[實(shí)用新型]一種加快臺(tái)面腐蝕槽進(jìn)度的可控硅結(jié)構(gòu)有效

專(zhuān)利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 201020240781.9 申請(qǐng)日: 2010-06-28
公開(kāi)(公告)號(hào): CN201773841U 公開(kāi)(公告)日: 2011-03-23
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 耿開(kāi)遠(yuǎn);周健;朱法揚(yáng) 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人: 啟東吉萊電子有限公司
主分類(lèi)號(hào): H01L29/74 分類(lèi)號(hào): H01L29/74;H01L29/06
代理公司: 南京眾聯(lián)專(zhuān)利代理有限公司 32206 代理人: 盧海洋
地址: 226224 江蘇省南*** 國(guó)省代碼: 江蘇;32
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摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 一種 加快 臺(tái)面 腐蝕 進(jìn)度 可控硅 結(jié)構(gòu)
【說(shuō)明書(shū)】:

技術(shù)領(lǐng)域

實(shí)用新型涉及一種可控硅結(jié)構(gòu),尤其涉及一種加快臺(tái)面腐蝕槽進(jìn)度的可控硅結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)

常規(guī)陰極擴(kuò)散僅擴(kuò)散陰極區(qū),在進(jìn)行臺(tái)面腐蝕槽步驟時(shí)腐蝕槽速度慢,腐蝕后的臺(tái)面腐蝕槽邊緣不平齊,臺(tái)面腐蝕槽底部不太平整,腐蝕時(shí)的側(cè)向腐蝕量較大,整個(gè)硅片的翹曲度較大。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的是提供一種加快臺(tái)面腐蝕槽進(jìn)度的可控硅結(jié)構(gòu),能有效解決上述存在的問(wèn)題。

本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是:

一種加快臺(tái)面腐蝕槽進(jìn)度的可控硅結(jié)構(gòu),包括陰極區(qū)、短基區(qū)、長(zhǎng)基區(qū)和穿通擴(kuò)散區(qū),所述與穿通擴(kuò)散區(qū)相連的可控硅短基區(qū)還增加了擴(kuò)散陰極雜質(zhì)的輔助臺(tái)面腐蝕區(qū),所述擴(kuò)散陰極雜質(zhì)的輔助臺(tái)面腐蝕區(qū)與穿通擴(kuò)散區(qū)連接。

本實(shí)用新型除擴(kuò)散陰極區(qū)外,還在臺(tái)面腐蝕槽處擴(kuò)散了陰極雜質(zhì),使得此處硅片的雜質(zhì)濃度大大增加。硅片的高摻雜處在臺(tái)面腐蝕時(shí)更易腐蝕,腐蝕速率大大增加。

本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是:

1、腐蝕速率快;2、臺(tái)面腐蝕后槽邊緣較常規(guī)更加平齊;3、臺(tái)面腐蝕后槽底部較常規(guī)更加平整;4、側(cè)向腐蝕量較常規(guī)明顯減??;5、整個(gè)硅片的翹曲度比常規(guī)小。

附圖說(shuō)明

下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)描述:

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

其中:1、穿通擴(kuò)散區(qū),2、短基區(qū),3、陰極區(qū),4、擴(kuò)散陰極雜質(zhì)的輔助臺(tái)面腐蝕區(qū),5、長(zhǎng)基區(qū)。

具體實(shí)施方式

如圖1所示,本實(shí)用新型的一種加快臺(tái)面腐蝕槽進(jìn)度的可控硅結(jié)構(gòu),包括陰極區(qū)3、短基區(qū)2、長(zhǎng)基區(qū)5和穿通擴(kuò)散區(qū)1,與穿通擴(kuò)散區(qū)1相連的可控硅短基區(qū)2還增加了擴(kuò)散陰極雜質(zhì)的輔助臺(tái)面腐蝕區(qū)4,擴(kuò)散陰極雜質(zhì)的輔助臺(tái)面腐蝕區(qū)4與穿通擴(kuò)散區(qū)1連接。

本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)式通過(guò)陰極版在光刻腐蝕時(shí),同時(shí)刻蝕出陰極圖形和臺(tái)面腐蝕槽的圖形,陰極擴(kuò)散時(shí)此兩處均擴(kuò)散進(jìn)高濃度陰極雜質(zhì)。臺(tái)面腐蝕槽處擴(kuò)散的陰極雜質(zhì)使得臺(tái)面腐蝕槽時(shí)更易腐蝕。

本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是:

1、腐蝕速率快;2、臺(tái)面腐蝕后槽邊緣較常規(guī)更加平齊;3、臺(tái)面腐蝕后槽底部較常規(guī)更加平整;4、側(cè)向腐蝕量較常規(guī)明顯減??;5、整個(gè)硅片的翹曲度比常規(guī)小。

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