[實用新型]一種加快臺面腐蝕槽進度的可控硅結構有效
| 申請號： | 201020240781.9 | 申請日： | 2010-06-28 |
| 公開（公告）號： | CN201773841U | 公開（公告）日： | 2011-03-23 |
| 發明（設計）人： | 耿開遠;周健;朱法揚 | 申請（專利權）人： | 啟東吉萊電子有限公司 |
| 主分類號： | H01L29/74 | 分類號： | H01L29/74;H01L29/06 |
| 代理公司： | 南京眾聯專利代理有限公司 32206 | 代理人： | 盧海洋 |
| 地址： | 226224 江蘇省南*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 加快 臺面 腐蝕 進度 可控硅 結構 | ||
【權利要求書】：
1.一種加快臺面腐蝕槽進度的可控硅結構，包括陰極區、短基區、長基區和穿通擴散區，其特征是所述與穿通擴散區相連的可控硅短基區還增加了擴散陰極雜質的輔助臺面腐蝕區，所述擴散陰極雜質的輔助臺面腐蝕區與穿通擴散區連接。
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