[實用新型]一種用于大尺寸基板鍍膜的氣體分配裝置

無效

• 申請號: 201020237298.5
• 申請日: 2010-06-25
• 公開（公告）號: CN201770773U
• 公開（公告）日: 2011-03-23
• 發明（設計）人: 彭壽;王友樂;甘治平;王東;金良茂;陳凱;張家林;石麗芬
• 申請（專利權）人: 蚌埠玻璃工業設計研究院;中國建材國際工程集團有限公司
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種用于大尺寸基板鍍膜的氣體分配裝置，其特征在于：包括一個主進氣管(3)，主進氣管(3)的兩端通過相應的氣體通道(3a、3b)分別與一個氣體分配管(4、5)的一端連接，兩個氣體分配管分別與Y形匯合通道(6)的兩對稱型腔相連接形成兩上端封閉結構，在Y形匯合通道(6)內部的每個氣體分配管壁上設有一組通氣孔(4a、5a)與Y形匯合通道的下端型腔相通。

2.根據權利要求1所述的一種用于大尺寸基板鍍膜的氣體分配裝置，其特征在于：另設有一個溫度控制腔(1)，溫度控制腔(1)與Y形匯合通道(6)下端連接形成封閉空腔，溫度控制腔上設有空腔的進氣管(2a)和出氣管(2)。

3.根據權利要求1或2所述的一種用于大尺寸基板鍍膜的氣體分配裝置，其特征在于：所述的通氣孔(4a、5a)的軸線平行于Y形匯合通道相應的上端型腔。

4.根據權利要求1所述的一種用于大尺寸基板鍍膜的氣體分配裝置，其特征在于：所述氣體通道(3a、3b)具有圓弧過渡并向相應的氣體分配管遠端方向延伸。

5.根據權利要求1所述的一種用于大尺寸基板鍍膜的氣體分配裝置，其特征在于：主進氣管(3)平行位于兩氣體分配管(4、5)的上方。

6.根據權利要求1所述的一種用于大尺寸基板鍍膜的氣體分配裝置，其特征在于：兩氣體分配管(4、5)的另一端各設有可拆卸堵頭。