[實用新型]改進的避免晶圓研磨液沉淀裝置有效
| 申請號： | 201020223782.2 | 申請日： | 2010-06-12 |
| 公開（公告）號： | CN201912901U | 公開（公告）日： | 2011-08-03 |
| 發明（設計）人： | 黃怡文 | 申請（專利權）人： | 宸沅國際股份有限公司 |
| 主分類號： | B01F5/12 | 分類號： | B01F5/12;B01F3/12;B01F15/02 |
| 代理公司： | 天津三元專利商標代理有限責任公司 12203 | 代理人： | 錢凱 |
| 地址： | 中國臺*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 改進 避免 研磨 沉淀 裝置 | ||
1.一種改進的避免晶圓研磨液沉淀裝置，其特征在于，在晶圓研磨原液輸送至加其它原料攪拌混成前，特別加設一槽底具有噴流攪拌機制及導引回流管路的儲存槽，由該導引回流管路連通儲存槽底端及儲存槽內頂部，且在晶圓研磨原液稀釋攪拌后使晶圓研磨液流經的供應槽，于供應槽底加設抽引裝置，且供應槽底端裝設一導引回流管路連通回該供應槽內頂部及導引回流管路。
2.根據權利要求1所述的改進的避免晶圓研磨液沉淀裝置，其特征在于：所述這些噴流攪拌機制為一具有磁浮轉芯的動力泵，且此動力泵頂殼穿入槽底，又于頂殼中央開設一流入孔，并圍繞流入孔開設數只向上偏斜散開的擠噴孔道，又于其相對于磁浮轉芯外圍圈設一環回旋送出通道，再圈套一通道環座，并將此環回旋送出通道的送出口連接研磨液出料管，以及并接導引回流管路，另在通道環座底固接外環布滿散熱片的動力機室。
3.根據權利要求1所述的改進的避免晶圓研磨液沉淀裝置，其特征在于：所述供應槽底加設抽引裝置，是抽引馬達。
4.根據權利要求1所述的改進的避免晶圓研磨液沉淀裝置，其特征在于：所述供應槽底加設抽引裝置，為一具有磁浮轉芯的動力泵，且此動力泵頂殼穿入槽底，又于頂殼中央開設一流入孔，并圍繞流入孔開設數只向上偏斜散開的擠噴孔道，又于其相對于磁浮轉芯外圍圈設一環回旋送出通道，再圈套一通道環座，并將此環回旋送出通道的送出口連接研磨液出料管，以及并接導引回流管路，另在通道環座底固接外環布滿散熱片的動力機室。
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